基于激光多普勒技术PZT薄膜压电性能测试的研究.pdfVIP

第 13 卷 　第 6 期 　 光学 精密工程 Vol . 13 　No . 6 2005 年 12 月 　　　　　　　　　　 　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　　　　　　　　 Dec . 2005 ( ) 文章编号 　1004924X 2005 基于激光多普勒技术的 PZT 薄膜压电性能测试研究 许晓慧 , 鲁 　健 , 朱龙洋 , 褚家如 ( 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系 ,安徽 合肥 230027) 摘要 :应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法 ,并引入数字锁相技术 ,成功实现了 PZT ( Pb ( Zr , Ti) O3 ) 铁电薄膜 的压电性能测试 。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明 ,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声 ,并 提高激光多普勒系统的位移检测分辨率 ,使其达到皮米量级 。此外 ,研究了用溶胶凝胶技术和溶胶电雾化技术制备得 到