低维功能氧化物材料透射电子显微学与研究.pdf

摘要 本论文主要利用透射电子显微学对Bio．4Cao．6Mn03外延薄膜的微观结构及其物 理性能进行了详细的研究。 本论文共分为网章。 第一章介绍了钙钛矿锰氧化物的物理性质、外延薄膜的研究进展以及电镜样品 的制备方法。首先回顾了锰氧化物的各种性质，如晶体结构、晶格畸变及电子结构， 然后介绍了外延薄膜中的应力情况，电荷有序行为，最后介绍了电镜样品的制备方 法。 第二章系统的研究Bio．4Cao．6Mn03外延薄膜的生长模式，并探讨薄膜中的应变情 况。利用脉冲激光沉积法制备不同厚度的Bio．《ao．6Mn03外延薄膜，利用透射电镜对 不同厚度薄膜的微观结构进行了研究。研究结果表明，Bio．4Cao．6Mn03外延薄膜沿岛 状模式生长，其表面形貌依赖于不同厚度薄膜中的应力状态。对于10nnl厚的薄膜， 其表面形貌像一个个孤立的小岛；对于40nm厚的薄膜，岛状结构变宽；当薄膜厚 度达到110nm时，岛状形貌消失。 第三章研究了薄膜厚度对晶格失配的影响，详细讨论了薄膜厚度对 Bio．4Cao，6Mn03／SrTi03界面的影响。研究结果表明，110nm厚的薄膜中存在垂直予 界面方向和平行于界面方向的位错。由于薄膜与衬底之间有失配，会产生垂直于界 嚣方向的