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陕西新光源科技有限责任公司LED外延、芯片生产线项目
环境影响报告书
(简 本)
西安市环境保护科学研究院
二○一四年一月目 录
1、建设项目概况 1
1.1 项目概况 1
1.2 项目建设内容 1
1.3本项目与西安半导体产业园的依托关系 4
1.4 与相关产业政策符合性分析 4
1.5工业园规划相符性与项目选址可行性分析 4
2 环境质量现状评价 5
2.1空气环境质量现状监测与评价 5
2.2 声环境质量现状监测与评价 5
3 建设项目对环境可能造成的影响 5
3.1施工期污染源分析 5
3.2 环境影响预测分析 6
4 环境风险评价 8
5 公众参与 9
6环评结论 9
7 联系方式及公众参与 9
1、建设项目概况
1.1 项目概况
项目名称:陕西新光源科技有限责任公司LED外延、芯片生产线项目
建设性质:新 建
行业类别:C 3962半导体分立器件制造
建设地点:西安高新区
建设单位:陕西新光源科技有限责任公司
1.2 项目建设内容
1.2.1建设规模及内容
项目总投资为1.5亿元,拟建设外延片生产线和大功率芯片生产线,同时将建设一个封装验证平台及配套的测试平台,以及相应的生产办公条件。项目年产垂直结构专用外延片13.5万片(2寸)和大功率垂直结构芯片180KK。外延片经过清洗、光刻、蚀刻等工艺制成芯片。同时将建设一个封装验证平台及配套的测试平台,以及相应的生产办公条件。现项目厂房部分已隔断、装修完毕,设备正在组装中。项目组成详见表1.2-1。
表1.2-1 项目组成与工程建设内容
项目组成 主要建设内容 主体工程 项目租用西安半导体产业园已建的103号建筑一层,总建筑面积7209.3 m2。建设2套MOCVD的外延片生产线和年产13.5万片的大功率芯片生产线,同时将建设一个封装验证平台及配套的测试平台。 辅助工程 办公区 项目对厂房内部进行隔断设立办公区建筑面积873m2。设有技术部、会议室等办公用房。 动力区 项目对厂房内部进行隔断设立动力区建筑面积1296m2。新建变配电室、氨气纯化间、氢氮纯化间、硅烷特气间、其它特气间、纯水站、空调机房等。 公用工程 给水 依托于西安半导体产业园,产业园采用市政自来水作为水源 排水 排入产业园园区污水管道,进入园区污水处理站处理 供电 产业园统一供电,园区设变压器 供热 自建集中空调 通风 局部自建有排风风扇 电讯 电话、网络 消防 火灾自动报警系统和消防喷淋系统 储运工程 物料储存 硅烷、氦气、一氧化二氮等特殊气体 特气钢瓶临时储存于厂房内北侧自建特气库房内。待半导体产业园建筑面积588.54 m2的特气库房建成后存放于该库房内。 氢气、氨气和氮气 氢气临时储存于厂房内北侧自建特气库房内。待半导体产业园建筑面积370.14m2的氢氧站建成后存放于该站内。在103建筑西侧空地临时自建一20 m3液氮储罐,待半导体产业园建筑面积1010.78m2的氮气站建成后存放于该站内;液氨储罐临时储存于厂房北侧自建氨气储存区,待半导体产业园氨气储存区建成后,存放于园区,接管至103建筑一层氨气纯化间供本项目用气设备使用。 酸碱等化学品 酸碱等化学品临时存储于厂房内西侧自建库房内,待园区危险化学品库建成后放入其内。 运输 项目委托有资质的专业公司运输,采用全封闭式汽车运输。 环保工程 废水 厂房内自建废水收集系统,经收集后排入园区污水管网,污水收集后排入园区污水处理站处理后排入西安市第七污水处理厂。 生活污水依托于园区化粪池处理,处理后排入西安市第七污水处理厂。 废气 酸碱废气通过收集装置进入自建的酸碱吸收塔,经喷淋装置收集,收集后剩余硫酸雾通过楼顶29米高排气筒外排。 有机废气经自建活性炭吸附塔处理。 氨气通过自建收集装置燃烧后经喷淋装置处理。 固废 废酸废碱、高浓度有机废水 交有资质单位回收利用。 废活性炭、废干燥剂、树脂、R/O膜 交有资质单位回收。 生活垃圾 由环卫部门统一清运,卫生填埋。 噪声 生产过程中泵机等噪音使用减振底座、隔声罩。 1.2.2产品性能
主要技术经济指标见表1.2-2。
表1.2-2 主要技术经济指标表
序号 名 称 单位 数量 备 注 1 生产
大纲 外延片 万片/年 13.5 大功率垂直结构芯片 KK 180 2 所需人员 人 141 生产员工111人 3 项目总建筑面积 m2 7209.3 其中办公区建筑面积873 m2 4 项目总投资 万元 15000 1.3本项目与西安半导体产业园的依托关系
本项目所需能源有水、电、蒸汽。园区有配套的自来水管网、市政蒸汽管网及高压变配
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