锗硅外延工艺调试和优化.pdfVIP

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  • 2017-08-28 发布于安徽
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目 录 摘 要 Abstract 引 日 第一章 导 论 1.1HBT SiGe技术发展 一8 1-2锗硅外延的性质 10 1.2.1锗硅的晶体结构 10 1.2.2应变与弛豫 1l 1.2.3临界膜厚 13 1.2.4器件用锗硅的基本结构 14 1.3SiGe生长技术 16 1.3.1表面带0备

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