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- 2017-08-28 发布于安徽
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目 录
摘 要
Abstract
引 日
第一章 导 论
1.1HBT
SiGe技术发展 一8
1-2锗硅外延的性质 10
1.2.1锗硅的晶体结构 10
1.2.2应变与弛豫 1l
1.2.3临界膜厚 13
1.2.4器件用锗硅的基本结构 14
1.3SiGe生长技术 16
1.3.1表面带0备
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