精密定位控制系统PrecisePositionControlSystemforPiezoelectricActuatorsUsingIntelligentControl.pdf

利用智慧型控制之壓電致動器 精密定位控制系統 Precise Position Control System for Piezoelectric Actuators Using Intelligent Control 國科會電力學門召集人 國立中央大學 電機工程學系 林法正 教授 1 國立中央大學 電機控制實驗室 內 容 一、緒論 二、壓電致動器 三、壓電致動器精密定位系統 四、類神經網路理論 五、單軸壓電致動器之遞迴式模糊類神經網路適應控制系統 六、單軸壓電致動器之適應性小波類神經網路控制系統 七、雙軸壓電致動器之適應性遞迴式放射狀基底函數網路控制系統 八、結論與未來之研究發展 2 國立中央大學 電機控制實驗室 一、緒論 研究動機與目的 奈米精密定位技術是奈米技術發展的其中一項關鍵與基礎 ， 由於壓電致動器 (Piezoelectric Actuator, PZA)擁有奈米級移 動精度 、產生力量大及響應快速等優點 ，所以廣泛應用於 需要奈米精密定位之工業應用上。 壓電致動器之材料本身為一鐵磁性元件 ，無可避免會有磁 滯現象(Hysteresis)產生 ，而造成電壓與位移之關係呈現非 線性之曲線 。因此為了達到奈米精密定位之目的 ，就必須 針對磁滯現象作有效之補償與控制。 3 國立中央大學 電機控制實驗室 一、緒論 (續) 有鑑於此 ，本論文將建立近似之磁滯模型 ，進而推導出完 整之壓電致動器動態模型 ，並利用智慧型控制理論 以達到 奈米精密定位控制之目的 ，並以實測結果來驗證所提出控 制理論之正確性與可行性 。 4 國立中央大學 電機控制實驗室 一、緒論 (續) 文獻回顧 摩擦力模型在精密定位控制中扮演相當重要的角色 ，故許 多研究[26-31]已將摩擦力模型加入控制系統設計中 ，亦利 用摩擦力模型來描述磁滯現象 ，因此本文將利用 LuGre磁 滯摩擦力模型[26] ，並將其加入機械動態模型中以完成壓 電致動器動態模型之建立 。 5 國立中央大學 電機控制實驗室 一、緒論 (續) 磁滯摩擦力模型中有許多參數於實際應用上難以獲得 ，且 壓電致動器中亦存在許多不確定項 。因此 ，本文將分別利 用遞迴式模糊類神經網路 、小波類神經網路與遞迴式放射