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專題討論報告 力量感測器 力量感測器原理與種類 力感測器可依照作動方式不同劃分為幾個主要的類型： 電容式 電位計式 電感電橋式 磁阻式（LVDT） 應變計式 半導體壓力感測器 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 力量感測器原理與種類 END * * 班 級：自控四甲 學 號姓 名：廖博益 指導老師：吳敏光 一、電容式 待測壓力經通道導入施加於一個可動膜片上，膜片受壓時與固定電極板間產生相對位置變化。 此舉亦使固定電極板內電容量隨之改變，故可藉由量測電容量變化而得到壓力值。 電容式壓力感測器較適合用於低壓力感測（大約800 kPa 內）及真空測量方面。 一、電容式 二、電位計式 電位計式是壓力感測器中較為普遍之一種 其內部利用波頓管(Bourdon Tube)作為感測元件。 通常此類壓力感測器具有很大的輸出訊號，在某些應用範圍裡並不需要經過放大處理即可測得輸出訊號。 二、電位計式 三、電感電橋式 此型壓力感測器利用感測技術中最常見的電橋電路作為感測元件 利用永久磁性材料製成膜片放置於兩感應線圈之間，當感測器內部受壓且膜片兩側所受壓力大小不同時，會使其中一個線圈電感量增加並減少另一線圈的電感量，而這兩個線圈被分別連接於電橋電路之一臂，因電感量增減便可造成電橋輸出電壓的改變，藉以測得壓力變化。 三、電感電橋式 四、磁阻式(LVDT） 此型壓力感測元件之感測原理與電位計式類似 ，亦是利用材料受壓力作用，產生位移量對應出壓力變化量。 不同處在於磁阻式使用導磁材料作為製作材質 通常此類壓力感測器亦會使用波頓管或夾囊(bellow)作為感測元件。 五、應變計式 此類壓力感測器構造，通常是將4 個應變規直接黏附於金屬膜片上，以膜片作為其感測元件。 當膜片受壓時其中央部分因受力而凹陷變形，於是應變規之電阻值因膜片表面伸縮而產生變化。 再利用四個電阻所構成的電橋電路將阻值變化轉換為差動電壓訊號輸出，其數值會相對於待測壓力的大小。 五、應變計式 六、半導體壓力感測器 半導體壓力感測器的作動原理與應變規式壓力感測器相當類似 不同僅為用來感測壓力變化的元件一是利用應變規，一是利用半導體材料。 半導體壓力感測器利用半導體材料取代應變規構成電橋電路，同樣形成一個四片應變規的壓力感測器。 六、半導體壓力感測器 *
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