SEMEDS扫描式电子显微镜室（ K109A ）.pptVIP

Department of Mechanical Engineering Department of Mechanical Engineering SEM/EDS掃描式電子顯微鏡室( K109A ) ※重要設備： Hitachi 3000N 型掃描式電子顯微鏡一部 Falcon 60 EDS能量散佈元素分析儀一部 Hitachi 鍍金設備一套 電子顯微鏡試片製作設備 ※重要功能與產業應用 : (1)表面結構觀察：放大倍率30倍到10萬倍 (2)表面成分分析：從硼至鈾元素均可 (3)破損表面觀察與因素鑑定 (4)半導體製程品質管理 (5)生物試片觀察 ※SEM/EDS電子顯微鏡室管理： 負責老師：吳忠春 副教授 連絡電話：06-2533131轉3541 研究生：王崇安、黃泰綸、蕭偉琦 陳韋志、黃資雯、巫芯樺 ※重要實驗室相關規定： (1)填寫使用申請書，並預約使用時間 (2)確實填寫使用紀錄簿 (3)使用結束後，請將儀器歸零還原 (4)違反相關規定，禁用兩週至二個月 (5)遇有任何狀況，立即通知管理老師 ※近五年內實驗室完成建教合作計畫概況（共13件）： 無塵室之塵埃鑑定計畫(福華電子產學合作計畫) 在碳化鎢刀具上沉積DLC類鑽碳膜對機械性質及材料使用壽命之 研究(國科會) 使用電子迴旋共振CVD法在碳化鎢刀具上沉積DLC類鑽碳膜最佳 化參數之研究 DLC製程與特性分析(鑽矽科技與成功大學) 表面被覆DLC類鑽碳膜對封裝用模具壽命影響之研究(金屬工業中 心與成功大學) 背光板模組塵埃鑑定與製程改善(國科會、暉盛科技) 被覆多層鍍膜對精密衝壓模具性能與壽命提升之研究(欣鋒公司) 電漿技術應用於不銹鋼板件被覆抗菌性薄膜之製程開發與表面 特 性之研究(國科會、欣鋒公司) 微波潛弧電漿技術製備高濃度奈米流體之製程技術開發與研究 (國 科會、暉盛科技) 常壓電漿技術製作微奈米粉末之製程技術開發與研究(暉盛科技) ※教學課程概況： 課程規劃兼重理論與實務 舉辦學術研討會及產業界實務演講 合作產業：南茂科技、閎康科技、超 泰科技、益弘儀器、暉盛科技等 開授電子顯微鏡實務技術課程(大學部 上、下學期)及教育訓練課程 開授材料電子顯微鏡學課程(碩士班博 士班課程；含實作操作訓練) ※儀器設備使用成效良好： [1]五年來支援本校機械、化工、生技、電機、電子等系所28位教師及 130位研究生從事相關學術研究 [2]協助成功大學、交通大學、清華大學、義守、嘉藥、大葉等校教師 及研究生學術研究之進行 [3]配合支援廠商的研發需求，協助福華電子、茂迪科技、暉盛科技、 鑽矽科技、雨田科技、慈惠中藥、兆陽電機、華宏新技、興南科技 及龍雨公司等十餘家廠商進行SEM/EDS顯微結構觀察與成分分析 [4]每週除固定排定的保養維修與教學時段外，其餘時段均開放師生使 用，資源充分利用，設備使用率高 [5]由學校編列相關研究生獎助學金聘用研究生協助設備保養、訓練及 委託操作 [6]SEM/EDS儀器設備支援本校研究所及大四學生開授相關課程，充分 利用作為教學與研究資源 Department of Mechanical Engineering Department of Mechanical Engineering