基于谱线相关性的激光诱导击穿光谱技术半定量分析方法论文.pdfVIP

基于谱线相关性的激光诱导击穿光谱 技术半定量分析方法 丛智博孙兰香辛 勇杨志家 中国科学院沈阳自动化研究所，工业信息学重点实验室，辽宁沈阳110016 摘 要：LIBS技术是一种利用分析等离子体辐射发射光谱，从而对未知物进行定性定量分析 的在线分析技术。由于此技术所分析的等离子体生命周期短，稳定性差，在定量分析上存在很 大误差。本文提出了一种利用被测物特征谱线组与标准谱线组进行的相关系数比较来对未知 物进行半定量分析的新方法。通过激光激发纯铜纯铝样本，选取一系列特征谱线所对应的强 度关系作为标准光谱数据，与其他含铜、铝成分不同的样品光谱数据进行相关性系数比较，通 过相关系数的大小来确定样品中所含铜、铝成分的多少。实验证明，它能够快速判断被测物质 中的元素组成，同时判断元素含量高低；而且可以同时判断多种元素，判断结果更准确，应用实 现更容易。 关键词：激光诱导击穿光谱；半定量分析；相关系数；特征谱线；快速测量 O657.319 A 诹／b删、1T日匕里／Y 样本分别在五个： 内部成分不均匀一 ：测试过程中会受j ￡结果重复性差，{ Si的LIBS光诸 81.618，305.0( 358.