大尺度DBD氧等离子体源构建的关键问题研究.pdf

璃要 近年来飘等离子体技术在材料表面改性、激光产嗽、半导体制造、嶷氧产生 和环保等领域展现出了良好的臌用翁景。特别是虑用裁等离子体技术处理船舶压 载承，可快速摹灭篷载拳赛携带戆檄生鐾，瑟对海洋琴壤嚣囊嚣影嫡，对游治海 洋癸寒生翰入侵、镖护近瘁海域生态安全露生耱多样憋其毒重要酶辩学意义窝实 际应用前景。但目前氧等离予体：}啜狂构建中存在理论蒸础薄弱、技术及工艺复杂、 一次投入成零和维护成本高等诸多问题；出于多尺艨结构效应，简单地放大小型 等离子钵源装爨势不毙取褥预期效渠，这些帮艰铡丁氧等离子体技术熬溅摸健盔 鲻。嚣对掏建六尺囊氧等褒予体源瓣需要，奉文蒎褥黧家囊熬餐学蒸鑫璞霹“气 体电离放电治理外来微生物入侵僚传播研究”，对DBD氯等离子体 源构建中的游千关键问题进行研究，内容涉及DBD电介质材料、等离予体源谐振 及等离子体化学动力学三个方瑚。 提蠢DBD邀套囊耪瓣牲戆蘩袋，葑蘩瓷箨为犬足发DBD氧莓毒予侮源囊电 奔质耪鞑斡逶瘸性述章亍了探讨。遥遘魏纯鞑辩配方靼攮烧工艺，毒l褥了邀瞧能、 导热性能和机械性能良好，且可修复，成本低的搪瓷材料，该材料适合作为大尺 度DBD氧等离子体源用电介脯树料。 出于尺度救丈，氧等离予律源各组箨闯会出现失聚现象，直接导致祭绕性挠 差、§§耗离、维护任务重。逶避实验对DBD等离子体源与其滋戆邀添之阅鹣失嚣 问题进行了研究，结果发现二鬻必配的根源在于系统谐振，谐振频率淑决于激威 电源变压器漏感与DBD电介瓞胺擗效电容。 以臭氧产生应用为例，对轼等离子体进行了微观化学动力学模拟研究。通过 改交电子浓度、惫子乎萄转羹释本癔气葵瀑鏖，磷究了等离子婆囊都参爨辩臭氧 产率静影嗡。壤鸯鼙电子浓度彝电予平均齄重会校大遗提赢奚氧产生速率；羞臭蓑 长时间地爨剐电子碰撞，其产辩会急剧下降。根据DBD微流柱中电予时窝分布不 均匀性，W濑过设置影响微流柱特性的一些参量涞优化等离子体源，内此明确了 丈足废氧簿离子体源麴捣建设计方囱。 关键谪：蔬筹离子体；介质陬捎般电#等离子藩深 on Issuesof DBD StudyKey Constructing Large—scaleOxygen Plasma Source Abstract 猿recent shown has years。oxygenplasmatechnology promising application in materials surface prospects modification，laser andenvironmentalfields，in manufacturing，ozonegeneration particular,theoxygen hasbeen to ballastwater plasmatechnology successfullyemployedship treatment， where containedinballastwaterarekilledinashorttimewitrout organisms any influence a on