面阵CCD椭圆偏振光谱系统实验研究及应用.pdf

丫 652513 摘要 论文题口:面阵CCD椭圆偏振光谱系统的实验研究及其应用 光科学与工程系 2004 届硕士研究生 指导教师: 摘要 椭圆偏振光谱测量作为一种非接触、非破坏性测量方法被广泛应用于材料光 学性质的测量 主要是利用探测光波同待测样品发生作用后光波偏振态的改变来 得到材料的光学参数。 本文的工作主要是集中在椭圆偏振光谱仪的介绍、研制、制作及其数据测量 和分析 卜。实验中研制了一台旋转起偏器光度式CCD椭圆偏振光谱仪。论文中 讨论了其基本原Vii,具体调节安装过程以及几种半导体介质材料的分析，主要内 容如下: 首先介绍了一些椭圆偏振光谱的发展历史及其椭偏在现代研究领域中的应 用，在第二章中我们详细讨论了作为椭偏仪必不可少的分光器件一单色仪中各部 分元器件的原理。包括光栅、滤色片、单色仪架构以及作为探测系统的CCD面 阵探测器，作为现代光谱分光的唯一器件，在光谱测量中起着至关重要的作用。 第三章我们详细介绍了椭偏测量的几种模型结构。对于不同物理结构的样 品，如体材料、单层膜及多层膜灯类型的材料结。应用不同方法去获得其光学常 数。对于体材料，椭偏测量得到的数据就直接为该种材料的光学参数;而对于后 面两种结构，椭偏测量得到的仅仅是其椭偏参数，即两束偏振光的振幅比和相位 差，我们必须建立正确的理论模型，对其进行拟合和分析刁’能得到材料的各项光 学常数。 在第四章我们详细描述了自己设计的面阵CCD光谱仪的结构原理及调试过 程以及利用该光谱仪所建立的椭圆偏振光谱仪的详细调试过程，在本章的最后， 对贵金属样品金的光学参数进行了测量，并利用Drude模型对其进行了拟合，得 到了满意的结果。 最后一章我们利用椭圆偏振光谱仪对儿种材料进行了测量，着重讨论和分析 摘要 了椭偏模型建立的重要性，展示了对于同一样品用不同模型分析结果，并讨论了 不同物理模型中各个参量之间的相互关系以及怎样取舍其理论模型中的各参量 值。 关键词:椭偏仪，光谱仪，光栅，CCD探测器 摘要 Abstract Spectroscopicellipsometryhasbeenwidelyusedasanon-destructiveopticaltoolfor characterizingtheopticalpropertiesandlayeredstructureofbulkandthinfilm materials.High-speedspectralmeasurementisrequiredforopticalmonitoringand controllingofthematerialpreparationinrealtime.Inthisworkwehavedesignedand constructedanewtypeofCCDspectroscopicellipsometertostudytheoptical propertiesofmaterialsinthe500-1000-nmwavelengthrange.Forthesystem,the analyzerisfixed,andthepolarizerisdriven100stepsperrevolutionbyastepping motorthathavehollowshaft.Insteadofusingthetraditionalgratingmonochromator andphotomultiplierdetector,anewytpeofspectrometerwasbuiltbyusinga two-dimensionalSi-basedCCDarraydetectorandanintegratedgratingconsistingof threesub-gratings.Thiswillmagnifythewavelengthran