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6.4 电容传感器的特点及设计要点 6.4.1 电容传感器的特点 6.4.2 电容传感器的设计要点 优点 温度稳定性 动态响应 结构简单 适应性强 非接触测量 具有平均效应 6.4.1 电容传感器的特点 缺点 输出阻抗高 负载能力差 寄生电容影响大 输出特性非线性 6.4.1 电容传感器的特点 1. 保证绝缘材料的绝缘性能 2. 消除和减小边缘效应 3. 消除和减小寄生电容的影响 4. 防止和减小外界干扰 6.4.2 电容传感器设计要点 电容式接近开关 电容式指纹传感器 电容式变送器 差压传感器 6.5 电容传感器的应用 6.5 电容传感器的应用 变极距型 量程0.01?m——数百微米 精度0.01?m 分辨力0.001?m 变面积型 量程0.1mm——数百毫米 线性优于0.5% 分辨力0.01——0.001?m 6.5 电容传感器的应用 机械量测量 直线位移 角位移 振动振幅（高频） 精密轴系回转精度 加速度 6.5 电容传感器的应用 当电容式传感器测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时，往往采用单边式变极距型，这时被测物是电容器的一个电极，另一个电极在传感器内。 是非接触测量，动态范围比较小，约为十分之几毫米左右，测量精度超过0.1?m，分辨力为0.01~0.001?m。 角度和角位移传感器用于精密测角，如高精度陀螺和摆式加速度计。 动态范围 0.1 ——几十度 分