可交联聚甲基丙烯酸甲酯合成、表征及在阵列式波导光栅中应用.pdfVIP

Vol. 27 高 等 学 校 化 学 学报 No. 3 2 0 0 6 年3 月 CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES 57 1 ~ 574 可交联聚甲基丙烯酸甲酯的合成、表征及 在阵列式波导光栅中的应用 1 1 1 1 1 ＊ 费 旭 ，傅 娜 ，王 耀 ，胡 娟 ，崔占臣 ， 2 2 2 1 张大明 ，马春晓 ，刘式镛 ，杨 柏 （1. 吉林大学化学学院，超分子结构与材料教育部重点实验室，长春 130012 ； 2 . 集成光电子国家重点实验室，吉林大学实验区，长春 130023 ） 摘要 合成了含环氧基团的可交联的甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物［Poly （MMA-co- GMA ）］，通过FTIR ，NMR ，GPC ，DSC 和AFM 等技术对其进行了表征. 结果表明，所合成的聚合物材料具有 较好的成膜性；通过热固化使引入的环氧基团开环交联，该聚合物的玻璃化转变温度（! ）比固化前提高了 g 24 K ，同时有效地降低了聚合物的双折射率. 用Poly（MMA-co-GMA ）作为包层材料，双酚A 型环氧化合物作 为高折射率材料，将其引入到包层材料中形成芯层材料的折射率在波长1. 55 !m 处可调，其范围是1. 483 ~ 1. 588. 采用旋涂、铝掩膜和氧反应离子刻蚀的方法（RIE ）制得了阵列式光波导. 测试结果表明，制作的波导 在1. 55 !m 处实现了光的单模传输，光损小于3. 0 dB/ cm. 关键词 甲基丙烯酸甲酯；甲基丙烯酸环氧丙酯；阵列式光波导；折射率 中图分类号 O631 文献标识码 A 文章编号 0251-0790 （2006 ）03-057 1-04 阵列式波导光栅（AWG ）是实现宽频带大容量通讯的关键器件，而用聚合物制造阵列式光波导器 ［1 ~ 5 ］ 件是当前备受关注的研究领域 . 目前应用的AWG 材料主要集中在SiO / Si 和IIGaASP/ IIP 等无机 2 材料上，这些无机材料的双折射效应都比较大，而且在无机材料衬底上生成高质量厚膜波导比较困 难，需要的设备也较复杂，从而造成器件价格一直居高不下. 因此，许多研究者开始利用聚合物材料 制作AWG 器件. 聚合物材料的特性使得Polymer/ Si 器件具有制作工艺简单、成本低、双折射率小、折 ［6 ~ 11］ 射率易控制及偏振不灵敏等优点，使其在与无机材料的竞争中处于有利地位 . 聚甲基丙烯酸甲酯 （PMMA ）是通用的光学材料，它具有较高的透光率和良好的加工性能，广泛应用于制造各种透镜等光 学器件［12 ~ 14 ］，但线型聚甲基丙烯酸甲酯玻璃化转变温度较低及多层涂覆时的层间互溶使其不能直接 用于阵列式光波导器件的制造. 本文合成了可交联的甲基丙烯酸