化学镀铜溶液中稳定剂的研究.pdfVIP

2014年3月 电镀 与 精 饰 第36卷第3期(总252期) ·5 · doi：10．3969／j．issn．1001-3849．2014．03．002 化学镀铜溶液中稳定剂的研究 孔德龙 ， 谢金平2， 范小玲2， 肖 宁 ，黎德育 ， 李 宁 ， (1．哈尔滨工业大学 化工学院，黑龙江 哈尔滨 150001；2．广东致卓精密金属科技有限公司，广东 佛 山 528247) 摘要：对四羟丙基乙二胺和EDTA双络合剂化学镀铜溶液稳定剂进行研究。用高温大负载施镀实 验进行初步筛选，研究了筛选出的稳定剂对沉积速率、镀液稳定性及镀层的影响。结果表明，亚硫 酸钠和吐温-60能提高镀液稳定性并能获得较好的镀层。将亚硫酸钠与吐温一6O进行组合，可提高 镀液稳定性，沉积速率可达7．29ixm／h。用线性扫描和交流阻抗的方法对亚硫酸钠和吐温．60提高 镀液稳定性的机理进行研究，结果表明，亚硫酸钠主要是与cu形成稳定的配合物，而吐温．6o则 是与Cu”吸附并使其失去催化活性。 关 键 词：化学镀铜；四羟丙基 乙二胺；稳定剂；沉积速