光电检测技术课件 第四章.pdfVIP

第四章 光电干涉检测技术与系统 主要内容  4.1 光干涉基本理论  4.2 典型的光学干涉系统  4.3 现代光电干涉检测技术与系统的应用 光的干涉现象是光的波动性的重要特性。随着科学技术的发展，以光干涉 理论为基础的干涉测量技术已经得到相当广泛的应用。一方面因为微电子、 微机械、微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大的量程，其它方 法难以胜任；另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高、量程大、 可以适应恶劣环境、光波和米定义联系而容易溯源等特点，因而在现代工 业中应用非常广泛。 光电干涉检测技术以光干涉基本理论为基础，依托各种典型干涉仪、光电 转换器件及信号处理模块来实现测量的目的。 4.1 光干涉基本理论 经典干涉理论是分析光的干涉和现代光电干涉系统的基础。在已经产生现代相干 理论的今天，经典干涉理论仍可简捷地解决许多干涉问题，而且也是现代相干理 论的基础。 两光波 E1 和 E2 在空间中P点叠加，该点光强为 2 2 I E  E