CT厂进气过滤方式分析.pptVIP

Compeq Confidential * CT廠進氣過濾方式分析報告 單位:Y60 報告人:葉日恆 報告內容: 一.問題點 二.理念政策 三.期望 四.差異分析及改善措施提出 4.1進氣各種處理方式的評估 4.2活性碳過濾處理的設計原則 4.3CT廠活性碳過濾現況設計說明表 4.4目前CM、CT之現況檢討與費用預估 1.1問題現象: 1.目前大園廠生產的過程中,置放的holding time在4小 時內即發生盲孔孔底發黑或發藍, 造成盲孔浮離的現 象。 2.空氣過濾處理之效率及需求無法量化。 1.2經過分析的問題點: 1.初步判定外氣含有化學污染物質,如下表: 如何維持板子置放時間在8小時而無品質異常？ 一.問題點 根據以上量測值懷疑空氣中的化學污染物質即為造成板子 盲孔孔底發黑或發藍的現象。 若參考 wafer fab clean room air quality criteria: *Total Hydrocarbons(THC):100ppb; *NOX:0.5ppb; * SOX :0.5ppb 來作為過濾基準,則必須有97.5%的去除效率,空氣處理成 本將相當可觀。假設IC載板不需如此高的情況下,去除效 率應為多少才能符合我們的生產環境條件? 2.配合CT廠現場品質異常而緊急改善所採用的過濾方式,目 前一時無法量化及制定出更換週期。 二.理念政策:廠內的空氣品質需合乎作業製程品質、 人員健康的需求。 三.期望(未來是什麼): 3.1藉由比較各種過濾方式及設計,取得最適宜的 方法來改善空氣品質,使板子在8小時之holding time內仍不致發生盲孔孔底有發黑、發藍的情 形。 3.2藉由長期(3個月)來觀察:以懸掛之測試裸銅片 (station monitor)之氧化程度 來取代過濾效率 的量化指標。 四.差異分析及改善措施提出(Gap Root Cause Solution) a.期望與問題點的差異(Gap) a.1對於含有化學污染物之進氣,沒有建立經濟有效的處理方式。 a.2對於濾材之效率未作量化以及更換週期的制定沒有明確的指標。 b.差異分析(Root Cause) b.1過去對廠房進氣,僅考慮過濾塵埃顆粒大小之十萬級控制,而空氣中的一些 化學污染物,並未作處理 。 b.2廠內作業環境空氣品質需求基準未能明確;並對濾材選用的knowledge仍 嫌不足。 c.改善措施提出(Solution) c.1進氣各種處理方式的評估及活性碳過濾處理的設計原則。 c.2過濾效果評估實驗計劃(保養頻率及標準化制定)。 4.1進氣各種處理方式的評估 4.2 4.4目前CM、CT之現況檢討與費用預估 9 8 A10無塵室進氣顆粒狀活性碳過濾安裝位置(目前作法) 9 (在進氣空調箱之前) 風速:0.3~0.5m/s 壓損:0.5inAq 軟管 FAN FILTER UNIT 送風量:17 CMM 活性碳濾材 出風速:0.4M/S 位置:WIP區天花板進氣口 (在進氣空調箱之後) 天花板 初級濾網 安裝位置(目前作法) 10 8 9 框 8 8 作法二:在進氣空調箱內部的活性碳過濾(安裝在濾袋之前) 兩道活性碳濾網:(厚度各為1in) v ?p 7 7 8 * *