基于双频激光干涉技术的高精度直线度基准装置.pdfVIP

维普资讯 第28卷 第 7期 中 国 激 光 VoI．A28．No．7 2001年 7月 CHINESEJOURNALOFLASERS July，2001 文鼍编号j0258—7025(2001)07．0637．04 基于双频激光干涉技术的高精度 直线度基准装置 赵 辉 浦昭邦 刘国栋 (上海交通大学电子信息学院仪器系 上海 200030；哈尔滨工业大学 自动化测试及控锚系 哈尔滨 150001) 提要 提出一种高精度直线度基准装置．它以激光波长作为掼f量基准．采用双颇激光干涉技术和直尺反转误差分 离技术．在一般实验室条件下实现了忧于0．1 m的测量不确定度。目前该装置已应用于航天质量保证体系国 防校准实验室。 关键词 直线度．测量．双频激光，直尺．反转 中田分羹号 TH744．3