一种接触式大量程表面形貌测量仪.pdfVIP

维普资讯 一 种接触式大量程表面形貌测量仪——郧建平 杨旭东 谢铁邦等 一 种接触式大量程表面形貌测量仪 郧建平 杨旭东 谢铁邦 张玲玲 华中科技大学，武汉 ，430074 摘要：为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程 ，需要对表面形貌进行精密的测 量。用带有 白光光源的 Linnik干涉显微镜 、一个杠杆机构、共基面 — X-作 台和垂直扫描X-作 台共同 组成一种接触式大量程表面形貌测量 系统 ，该系统具有测量精度 高、测量接触力小的特点，可对常用X- 件表面进行接触式大量程的测量。测量系统的垂直测量 范围为 5mm，分辨率小于 1nm；z向和 向的 水平测量范 围为 ±25mm，分辨率为 1．25ptm。 关键词 ：表面形貌 ；触针法 ；干涉显微镜 ；白光干涉技术 中图分类号 ：TH741．3；TH744．3 文章编号：1()()4—132X(2008)O8一O9O9一O5 A Contac