17．5Kev同步辐射光的干涉技术研究.pdfVIP

维普资讯 叶7 2：篁! 簪射光／的鲨堇 研究 ／ _干林 赵洋 曹：芒 李达成 {=) 0 (清华人学精密 萝技术与仪器国家重点实验空，北京，100084) 蒋建华 韩勇 _千州光 田玉莲 王功利 ● ● - _ _ _ - ● 一 (中国科学院高能物理研 究所同步辐射室，北京，100039) 摘要 Ix射线干涉测量技7f 以非常稳定的 纳米量级的硅单品的品格作为基本长度单位，以 建立纳米级 艮度 基准 ，从而实现纳米级精度 的测量、校验等功能。由于其在纳米测量范围内 的特殊优越性 ，因而近年米该技术得到了迅速发展 。该技术 的前提是x射线干涉技术的实 现 。根据x射线干涉 的特 点，并考虑到x射线 的吸收特性 ，川单 品硅制 出了LLL型x射线干涉 器什 。往北京 同步辐射实验室(BSRL)4W1A束