吉时利联合Stratophere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术.pdfVIP

维普资讯 2oo8．4 Products＆ IndustryNews 吉时利联合StratosphereSolutions研发 65nnl以下先进工艺特征分析技术 日前，吉时利(Keithley)仪器公司(NYsE代码 ：KEI)宣布将与StratosphereSolutions公司(Sunnyvale， CA)合作。StratosphereSolutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方 案。吉时利与StratosphereSolutions合作后将采用阵列测试元件组 (TEG)技术展开先进工艺研发和监测 工作。彼此共同的客户提供一种独特特征分析基本架构，采用吉时利 $600系列参数测试仪和StratoP IP实现大容量、高产能、高可靠参数测量解决方案，确保客户成功实现先进半导体工艺。 吉时利 $600系列参数测试仪通过适应器件工艺变化，帮助晶圆厂和代工厂降低芯片测试成本。这类 测试仪可以用作成本极低的直流、射频和阵列TEG测试仪，提高固定设备重用性，从而降低测试成本。 $600系列最新产品$680在一个测试系统 内实现并行测试功能、高直流测试灵敏度、飞安级分辨率以及高 达40GHz射频 S参数测量功能，从而为65nm 以下工艺节点测量提供当前业界较高产能和较低投资成本 的解决方案。 随着工艺几何尺寸缩减到65nm 以下，阵列TEG结构，例如Stratosphere获奖StratoPro产品套件，正 日益成为半导体工艺特征分析的关键手段。主要半导体公司需要一种事实上的标准产品，StratoPro将同 样硅面积上的测试密度提高几千倍，实现最高分辨率测量和改善总体测试完备性。 作为一个参数式 ActiveMatrixTM硅 IP平台，StratoProMT将凭借其高精度特性、电气参数及可变性管芯 内统计功能帮助晶圆厂和轻晶圆厂用户实现芯片特征分析。用户可以选择 65nm和45nm硅验证 Strato— Pro平台，因为它将测试结构的密度提高了10～1000倍，实现很高的测量分辨率，结合吉时利测试仪平台 后能够大大缩短测试时间。晶圆厂用户可以在工艺研发的早期、成品率改进和生产监测过程中使用 Stra— toProMT 。 轻晶圆厂用户可以使用该系统对与设计风格相关工艺偏差进行特征分析。 DPX技术把庞大的实时RF数据 转化成一 目了然的视图 泰克RSA3000B系列实时频谱分析仪内部独特的DPXM数字荧光技术生成实时RF频谱显示，使得 工程师能够查看以前从不知道的RF信号里存在的不稳定性和瞬变。DPX技术大大改善了频谱刷新速率 和信息显示能力，把大量的RF数据转化成一 目了然的视图，清楚地显示哪里存在异常信号。 ’ DPX技术采用并行处理结构，与速度最快的扫频分析仪和矢量信号分析仪相比，其频谱处理速度提高 了近 1000倍。传统扫频分析仪每秒最多可以处理5o个频谱，相比之下，采用 DPX技术的RSA3000B系 列的测量速率提高了近 1000倍，每秒可以处理 48000多个频谱变换 。 通过把时域信号连续转换到频域中，DPX技术为同时显示频繁的事件和不频繁的事件提供了一种方 法，以远远高于人眼能够感受到的帧速率连续且实时计算离散傅里叶变换 (DFT)，并把它们转换成直观的 动态的画面 。 RSA3000B系列可以显示以前看不到的实时RF信号。通过调整数字余辉颜色变量，异常信号最终能 够被发现，因此这些分析仪有助于揭示难以觉察的毛刺和其他瞬时事件。在每次刷新时，捕获带宽中每个 频率上的功率电平值都将被记录，同时每个频点上功率随时间的瞬态变化也通过颜色的变化表现出来。 DPX显示拥有如此特别的优点，可以显示位于随时间变化的频谱包络峰值幅度以下的频谱信息。 通过 Ⅸ)x技术，fA3000B系列实时频谱分析仪可以每秒48000次捕获和分析很宽的频率跨度，把庞大的