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维普资讯 第27卷 第 1期 固体电子学研究与进展 VoI．27，NO．1 2007年 2月 RESEARCHPROGRESSOFSSE Feb．，2007 基于成品率的多变量工序能力指数模型 王少熙 贾新章 (西安电子科技大学微 电子学院，西安，710071) (宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室，西安 ，710071) 2006—03—20收稿 ，2006—06—05收改稿 摘要：在K．S．Cheneta1．(2003)和M．T．Chaoeta1．(2005)研究理论的基础上 ，改变他们使用 的单变量工序能 力指数表达式，建立 了基于成 品率 的多变量工序能力指数计算模型。该模型不要求工序 的单个质量特性数据分布 必须满足正态分布 ，并在一定程度上简化了计算过程 ，其理论基础对应用人员更容易被理解 。同时，指 出并改正当 前对工序能力指数和成 品率关系的错误应用，最后给 出该多变量工序能力指数 的应用分析 。 关键词：成品率；多变量；工序能力指数；质量特性 中图分类号：TN405 文献标识码 ：A 文章编号：1000—3819(2007)01—134—04 A M odelofM ultivariateProcessCapability IndexBased on Yield WANG Shaoxi JIA Xinzhang (SchoolofMicroelectronics。XidianUniversity，Xian，710071，CHN) (KeyLab．of Ministryof EducationforWideBand—gapSemiconductro Mat．andDevices。Xian，710071，CHN) Abstract：Afteranalyzingtheapproachandmodelofprocesscapabilityindexinvestigatedby K．S．Cheneta1．(2003)andM ．T．Chaoeta1．(2005)，andchangingthesingleprocesscapability index’SformulausedbyChen andChao，anew modelofmultivariateprocesscapabilityindex basedonyieldispresented．Thenthepaperindicatestheincorrectidealabouttherelationshipbe— tweenprocesscapabilityindexandyieldandmakessomeanalysisonit．Asforthisindex，theda— taofeachsinglecharacteristicdon’trequiresatisfyingnormaldistribution，SOthatitscomputing issimpleandpractitionerswillnotfeeltOOtheoretica1．Atlasttheapplicationanalysisismade． Keywords：yield；multivariate；processcapability index；qualitycharacteristics EEACC ：2570 响，相对也增加了产品质量特性评估的困难 。工序能 引 言