超精密加工.ppt

超精密加工 定义及分类 精密加工：IT≤0.1μm， 0.03≤Ra ≤0.3μm（亚微米加工） 超精密加工：IT≤ 0.01μm, 0.03≤Ra≤0.05μm（纳米加工） 分类：可分为超精密切削、磨削等 超精密车削 超精密车削切削力的试验研究 目的：通过超精密车削试验，研究了各切削参数对切削力的影响规律。 超精密机床?：超精密车床 超精密车削试验条件 工件材料?：切削试件材料为铝合金LY12，其化学成分见表1。 车刀：圆弧刃金刚石车刀 ? 超精密车削试验条件 切削力测量系统? 该测量系统由安装在机床刀架上的Kistler?9256A1型高灵敏度压电式三向测力仪、5019B型多通道电荷放大器、ynoWare?System数据采集系统软件、5261型A/D转换卡、主机及显示系统等组成。 切削力介绍视频 进给量对切削力的影响 测力仪实际测得的切削力曲线 吃刀量ap与切削力Fc、Ft的对应关系曲线 超精密磨削 磨削视频 超精密磨削 金刚石笔 低于砂轮1-2mm 笔轴与砂轮径向15度角最佳 砂轮与修整器外观 ELID 超精密磨削砂轮表面氧化膜形成行为的实验研究 氧化膜厚度及其形成速率在ELID磨削过程中扮演着重要的角色 1、如果氧化速率太慢, 磨钝的磨粒不能及时从金属结合剂表面脱离,使得磨削力增大而引起局部过热,给磨削表面和次表面造成损伤。 2、氧化速率太快,砂轮表面形成较厚的氧化膜,由于氧化膜的强度较低,在磨削力的作用下极易从砂轮表面剥落,在砂轮表面形成较大的凹坑,引起磨削力较大的波动,磨削过程不稳定,难以得到高质量的磨削表面。另外,剥落的氧化膜和磨粒进入磨削区域,引起磨削表面污染和刮擦。 　实验装置 电解液：CEM，用蒸馏水将浓度稀释到2% 砂轮为浓度75 %的铸铁结合剂杯形金刚石砂轮 阴极：铜和不锈钢，结构也不同 对输出电压和电流进行实时监测,并将数据存储于计算机硬盘,便于以后分析 实验装置 试验方法 　氧化膜在砂轮预修整过程中的整体变化规律 占空比对氧化膜厚度和增长率的影响 大体上来看,氧化膜的厚度是随着占空比的增长而增长的。 在最初阶段氧化膜的增长速率随着占空比的增长而增长,而后占空比对氧化膜增长率的影响会减弱,而且由不同的占空比引起的氧化膜增长率的差异也将变小。 原因：砂轮表面形成的氧化膜远不如电解液的电导率高,在最初阶段只形成了很少的氧化膜,所以在电解电路中电流主要决定于占空比。随着砂轮预修整工艺的进行, 氧化膜越来越多,电流开始受到氧化膜电阻的影响。由于氧化膜的导电性能很差,导致大部分的电流都消耗在氧化膜中,只剩下很少一部分电流参与电化学反应,所以由不同的占空比引起的氧化膜增长率的差异会变小,而且占空比对氧化膜增长率的影响也会变弱。 　电压对氧化膜增长特性的影响 　轮速对砂轮表面氧化膜形成的影响 * ◆微细加工 —— 微小尺寸的精密加工 超微细加工 ——微小尺寸的超精密加工 金刚石车床 加工4.5mm陶瓷球 IT 0.1~0.01um Ra 0.03~0.05um 进给量f与主切削力Fc、吃刀抗力Ft的对应关系曲线 结论：Fc和Ft随着进给量的增大而增大。当进给量f大于一定值时，Fc和Ft的变化趋势与普通切削相同，即始终保持FcFt；当进给量f小于一定值时，Fc和Ft则具有特殊变化规律，即出现FcFt的现象。 背吃刀量ap=10μm，进给量分别为f=5μm/r、f=12μm/r 当背吃刀量ap小于一定值时，也会出现FtFc的现象； 当背吃刀量ap大于一定值时，则始终保持FcFt。 随着背吃刀量的增大，Fc、Ft值增大，且Fc增幅大于Ft的增幅。 结论：在超精密微薄切削时，出现FtFc现象对加工表面粗糙度产生直接影响。在超精密切削时，并非选用进给量越小则获得的加工表面粗糙度值越小，因此应考虑切削力变化的影响，在合理范围内选取进给量，以保证超精密加工的表面质量。 ◆ 砂轮材料：金刚石，立方氮化硼（CBN） 可加工各种高硬度、高脆性金属及非金属材料（铁金属用CBN） 耐磨性好，耐用度高，磨削能力强，磨削效率高 磨削力小，磨削温度低，加工表面好 ◆ 特点： 分整形与修锐（去除结合剂，露出磨粒）两步进行 常用方法 ① 金刚石笔修整，获得所需形状； ② 电解修锐（适用于金属结合剂砂轮），效果好，并可在线修整 ◆ 砂轮修整： 进给 ＋ － ELID磨削原理 电源 金刚石砂轮 （铁纤维结合剂） 冷却液 冷却液 电刷 ELID（Electrolytic In-Process Dressing）在线电解修锐 使