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采用光电技术测量微细线宽的探讨 1989年12月堂堡——第6期总第84期 采用光电技术测量微细 线宽的探讨 戚元燧 (华中理工大学汉口分院) 【提要】在显微物镜的成象光路中,增加一块振荡反射镜,使被测缦宽的放大 象相对窄缝扫描,将光学边界信息转变为梯形电脉冲.经过电路处理.得到两个史 彤电脉冲.填充高频矩形脉冲测量两尖彤脉冲之间的时间问膈,进而求得被划线宽 的宽度. 推导7被测线宽与光学性能参数,结构参数,振荡鳆率瞳及高额矩井;睬冲数之 问的函数关系式.根据显徽镜的基本性能,分析影响测量误差的各种因素,并进 行实倒计算.最后提出一个框图,说明线宽测量仪系兢中各功能之问的关系. 和超塑壁薹盛皇墅叁成度的埋高,左光刻板过程中盟微米和亚微 的圭堕法求已是兰塾目前已有二些测量方法,如j扫射面■磊磊西 {ii两量等等.本文藁:羞技 探讨微细尺寸测量的原理和方法. 一 ,测量原理 圈2 如图l所示,被铡线宽经照明后,通过物镜l成一个放大的象,在显微物镜的成象光路 中,设置一块反射镜2,使放大的象落在象平面3上,在家平面3处放置一个窄缝,其方向 ?6 与线的长度方向平行.反光镜绕着一条过0点并垂直图面的轴转动,这样就形成了放大的象 沿其宽度方向相对窄缝扫描.窄缝后面放置光传惑器4,得到一个与线宽相应的扫描电信号 (如图2).时间T对应光学边界K,时间T:对应光学边界Kz,时间间隔T:Tt—T,它