应用于大功率激光二极管列阵的单片集成微通道制冷热沉(中文翻译).docVIP

应用于大功率激光二极管列阵的单片集成微通道制冷热沉 马杰慧 　方高瞻 　蓝永生 　马骁宇 （中国科学院半导体研究所 国家光电子工程中心，北京 100083） 摘要：介绍了一种应用于大功率激光二极管列阵的新型单片集成微通道制冷热沉. 这种热沉已制造并经过测试。10叠层的激光二极管列阵的热阻为0.121℃/W。相邻两个激光条的间距是1.17mm。在20%高占空比条件下，波长为808nm左右，峰值功率可以达到611W。 关键词：微通道 单片集成 AIN 正文： 引言 激光二极管阵列已经被广泛用作泵浦固态激光器领域中的来源。激光二极管阵列运行在高负荷因子模式或连续波模式下时，平均输出功率是非常高的。大平均功率和小排放区域导致在二极管材料焊接的界面峰值热流密度大约1 kw/cm2。为了保持可靠和高效率的运作，交界处的温度必须保持在低于50℃，因此，低热阻抗包装的就变得非常重要。 目前，以应付激烈的热通量，微通道冷却器是最有效的方法。这种积极的热控，可以提供非常低的热阻抗。对于这种情况，激光二极管棒粘合到一个多层散热器和冷却的狭窄通道。这种方法使用层流冷却液和非常有效的二极管冷却应用程序。硅和铜的微通道散热器已经开发出来。Beach et al.[1] 在1992年曾报道过三层硅微通道散热器，热阻为0.23℃/ W。Loosen et al.[2] 在2000年曾报道过5层的铜