温州无尘车间管理制度.docVIP

无尘车间管理制度 (某世界500强半导体企业内部规范-仅供参考) 目 录 管理的目的 管理的原则 适用范围 术语 管理程序 5．1 施工管理制度 5．2 洁净度定期检测制度/测量标准 5．3 人员管理制度 5．4 洁净服管理制度 5．5 物流/洁净室内设备及工器具管理制度 5．6 清洁、清扫和灭菌管理 5．7 洁净室安全管理 版本更改记录 1．0 管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2．0 管理的原则 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净