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静电防护标准教材 西钛微电子科技有限公司 工程部—IE—赵雷 目录 第1章 静电的认识 第1.1.静电领域的专业名词定义； 第1.2.静电的产生； 第1.3静电与常用电的区别 第1.4节： 静电效应的物理机制 第1.5节： 静电造成的危害 第1.6节： 静电的有效利用 第2章 静电的防护的认知 第2.1节： 静电破坏的主要形式 第2.2节： 静电破坏的主要特点 第2.3节： ESD主要受训人员 第2.4节： 静电放电引起的器件击穿 第2.5节：静电对敏感等级 第3章 静电的防护措施 第3.1节： 静电防护的基本原则 第3.2节： 日常静电电荷主要来源 第3.3节：消除已经产生的静电荷方法 第3.4节： 日常静电电荷主要来源 第3.5节：防静电工程环境的要求 第3.6节：防静电工作台的技术要求 第3.7节：防静电性能的检测周期及注意事项 第3.8节：防静电的一般工艺规程要求 第3.9节：常用的防静电用具 第4章 ESD管理办法 第1章 静电的认识 孙子有云：知己知彼，百战不殆； 当然孙子是不懂ESD，但他的方法论我们可以引以为用；静电于我们这样的CMOS产品良率来说确实是对手的角色，既然是对手，那我们依循孙子的战术思想去看看静电的“庐山真面目”。 相信大家都看过会做过的实验： 第1.1节：静电领域的专业名词定义 1.1.1带电现象 ： 物质呈现带电的现象，称为带电现象； ? 按物质所带电荷的存在与变化状态可分为动电现象和 静电现象。 1.1.2静电现象 ：指对于观察者而言，所带电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。 1.1.3静电 ： 并非静止不动的电,而是缓慢移动的电荷,其磁效应可忽略； 1.1.4ESD ：Electro-Static discharge，国际上习惯将用于静电防护的器材统称为 “ESD”，中文名称为静电阻抗器。 第1.1节：静电领域的专业名词定义 1.1.5表面电阻率:同一表面上两电极之间所测得的电阻值，将电极形状和电阻值结合在一起通过计算可得到单位面积的电阻值。 1.1.6体电阻率：体电阻率是通过材料厚度的电阻值，单位是Ω·cm。 1.1.6导电材料：导电材料指表面电阻率和体电阻率分别小于106Ω和106Ω·cm的材料。 1.1.7耗散材料: 耗散材料指表面电阻率和体电阻率分别小于1012Ω或 1012Ω·cm的材料。 1.1.8防静电材料:“防静电”指的是能够抑制电荷累积，可以在材料制造过程中添加或者局部加入某种物质得到这种特性。导电添加剂和薄膜如果由于成本或者其他设计上的原因只能使用塑料材料或复合材料时，可以使用添加剂改善静电特性，将添加剂混入塑料材料中，根据添加剂和树脂百分比不同可获得所需的导电性或耗散性。 第1.2节： 静电的产生 1.2.1静电产生的内因： 物质的基本组成是分子、原子。尽管原子的种类不同，它总含有带正电的原子核与外壳层带负电的电子。正常情况负电荷总量相等，故呈电中性。当物质处在不同的外界环境，或受到外来因素的作用（加热、光照、冲击、摩擦、电磁场），外壳层电子状态（荷电量、电子运动轨道、所处能级）将发生改变，引起相应荷电现象。任何物体上的静电，主要都是由于摩擦或感应两个过程产生的，前者是一种普遍的物理过程，尤其是干燥环境气体或者高纯水高速流动流过物体表面，都会使之带上电荷。一般说，无机材料（石棉、玻璃、云母等）更易带正电荷；有机高分子材料（聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯树脂、聚亚胺酯等）易带负电荷。 1.2.2静电产生的外因： 每当人们在室内走动，尤其是穿塑料鞋在地板上滑、拖动，搬动物体，翻书，用电风扇吹风、使用空调、把胶带膜撕开，推拉发泡胶椅子，手或袖子在桌面上移动时等一系列运动摩擦，皆可引起静电放电效应。 第1.3节： 静电与常用电的区别 静电与常用电从性质上是一样的,本质都是电荷； ①电产生方式; ②能量相差; ③表现形式; ④规律性—欧姆定律适用性有所不同; ⑤电荷移动速度:静电是微动的常用电是运动的； 第1.4节： 静电效应的物理机制 从物质结构—原子层次看，ESD易发生在非导体表面，这主要由于非导体（介质材料，绝缘体以及高阻半导体）材料在外因作用下，容易产生极化电荷或者感应电荷；这部分电荷不象导体上电子一样可以自由运动，它是处于正负荷相互吸引（束缚）