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ESD 知識講義 静电基础知识 静电控制的基本原理及措施 三.　静电防护设施器材、设备仪器的基本性能与使用知识 静电放电（ＥＳＤ-- Electro Static Discharge）问题是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热（火花）效应和电磁效应等的学科。近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电的电磁场效应如电磁干扰（ＥＭＩ）及电磁兼容性（ＥＭＣ）问题越来越重视。 ?? 靜電產生的原理 : ? 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 ? 3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下: 靜電電荷產生的種類: 1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導 靜電電荷對微電子工業的影響: 1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 半導體的靜電敏感度: 靜電放電的三種型式: 1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件帶電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞. 3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 . 二静电控制的基本原理及措施 1. 接地: 將導體材料接通大地, 把靜電電荷傳導到大地. 2. 離子中和: 用離子發生設備產生離子, 來中和物體表面所帶靜電荷. 3. 屏蔽: 用高導電性材料做成屏蔽層, 使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞. ESD等級分類: ESD失效的潛伏性: 有時ESD並沒有把半導體完全破壞, 而只把元件某部分的品質降低. 從事ESD敏感半導體等行業應留意以下幾點: 1). [潛伏性的ESD問題]: 在任何場合都會發生; 2). [潛伏性的ESD問題]: 將會累積起來加深其損壞的嚴重性 ; 3). [潛伏性的ESD問題]: 在運送ESD敏感性元件, 更加無法估計其產生的可能性; 4). [潛伏性的ESD問題]: 不只是影響成品用家, 也會影響各層制造商的維修費及聲譽; 5). [潛伏性的ESD問題]: 目前還沒有辦法把此問題的產品全部找出來. 1、ESD-Electrostatic discharge-静电释放,即静电电荷在不同电势的物品或表面之间转移的过程. 2、EOS-Electrostatic Overstress-静电损伤,即器件接受静电释放时,其特性产生变化,通常性能变差,但未完全失效. 3、ESDS-ESD Sensitivity Susceptibility-静电敏感性（度），衡量一个器件对静电破坏所能感受的程度，即其特性在不同的静电水准下改变多少. 4、Antistatic-指材料阻止磨擦起电的性能，在本文中，防静电材料通常其磨擦起电的静电电压低于±200Volts. 5、Electrostatic Shielding-静电屏蔽，设置在物体周围的导体屏障以排出外电场的影响. 6、Conductive Material-导电性材料，在本文中，这种材料的表面电阻率低于10E5Ω，M或体积电阻率低于10E4Ω.m. 7、Insulative Material-绝缘材料,在本文中,这种材料的表面电阻率大于10E5Ω.M,或体积电阻率大于10E4Ω.M. 8、Equipment Ground-设备接地,电气设备与硬地电极之间的低阻抗通路.通常为电源插座的第三端. 9、ESD Ground-静电接地,由导体所组成的电极,金属带,金属棒等,用来构成连接带有静电电荷的人或物体与大地之间通路. 10、Tribo-electric Charging-磨擦起电,当两个最初接触的物体(一方或变方均为绝缘体)分离时而产生静电电荷积累. 11、ESD Protective Packaging-静电防护包装,一种包装方式,可以用来限制静电每感器件磨擦起电电荷的积累,或者为ESD器件提供静电屏蔽. 12、靜電逸散材料-材料表面電阻率大於1x10E5 ohms/square, 小於1x10E12 ohms/square,或者體積電阻率大於1x10E4 ohms-cm, 小於1x10E11 ohms-cm. 13、表面電阻-與材料的同一邊相連的兩個特定形狀