ESD防护的原理及应用.ppt

* ESD防护的原理及应用 ESD的概念 ESD之三种模式 静电的概念 静电的危害 静电的影响因素 静电源 为什么要做ESD防护 静电防护有关专有名词和符号 如何进行有效的静电防护? 如何进行有效的静电防护? ANSI/ESD S20.20之摘要 ANSI/ESD S20.20之建议 ANSI/ESD S20.20之要求 离子化静电消除 ESD防护之注意事项 ESD （Electro Static Discharge） 静电放电：静电出现后，如果没有及时宣泄或消除，便可能因直接接触或感应而产生放电，形成静电放电。 晚上脱衣服,有时会看到小小的电花; 碰到金属或者人时,会有被电的感觉; 风雨交加的天空,时不时的出现的闪电; 这都是静电放电现象,它无处不在,有的可以被我们看到或者感觉到,但有的静电放电我们无法捕捉. ESD的概念 ESD之三种模式 人体模式（HBM: Human Body Model） 由指尖放电至静电敏感物.人体活动时,与衣服摩擦产生静电,当静电得不到及时有效宣泄,在拿取静电敏感物时就会由指尖放电至敏感物,微電子器件的主要破壞都是由此型式造成的. 机器模式(MM: Machine Model) 带电导体放电至静电敏感物.快速的能量传遁,没有串联电阻而直接进入待测元器件,对其造成伤害,此模式近似一个电压源. 充电装置模式(CDM: Charge Device Model) 静电敏感物放电至周围物件.元器件本身已经带电,当它接触到不同电位的金属表面而出现快速的放电. 静电的概念 物质表面的正/负电荷分离所产生的电位。 物质分为导电体、半导体、绝缘体三种，这三 中物质都会因摩擦及空气中相对湿度的不同而 产生不同程度的静电。 静电的危害 静电影响产品的良率和品质! 谁希望被闪电打中?当然,电子元件也不希望! 半导体被破坏59%是由静电引致的!ESD的最大伤害不 是立即将产品打坏(10%完全失去功能),而是将产品变 成”危险良品”的半不良品(90%间歇性失去功能). 静电导致ESA (Electrostatic Attraction)、EMI (Electromagnetic Interference)致命现象! -Clean Room最怕的是ESA导致的表面污染物 (Contamination),一个4英寸晶圆负载1000V电荷 时,1micron的微粒撞击可产生撞击力达830000磅/平 方英寸或148公吨/平方公分,远超过使晶圆受损的程度.(资料来源: 美国静电防护协会) -电流产生电磁场，它会干扰机器的正常运作！ 静电的影响因素 湿度 大约40%R.H.或更低湿度,便容易形成严重静电问题 静电源 人员：坐立、移动 工作台面：磨光、油漆、上蜡 地板：塑胶地板、地毯 注：在30%相对湿度下量测 椅子：木质、塑胶、纤维质 设备：生产仪器、治具、产品本身 其他：塑胶垫子、文件夹等任何可能产生摩擦的地方 静电源-人员 人员 人员的坐立导致电容改变 人身上静电位=人身上总静电荷/人身电容 电容越小，静电位就越大，危险就越大。 静电源-人员 人员 人员的移动导致电位的改变 当人员坐下时电位最小，变化幅度也最小 为什么要做ESD防护 制造业为何要做ESD控制？ 避免灰尘吸附； 减低元件被破坏； 减少产品失效或运作不稳定； 避免人员受伤； 预防火灾或爆炸发生； 每年因静电不当释放所造成的损失高达数十亿美金以上； 电子业为何必须做ESD防护？ 静电是无所不在的（就象细菌），只是程度不同； 静电放电是微电子元件防不胜防的敌人； 依据美国、欧洲及小日本电子产品制造商的实际经验，如果在产品组立封装过 程或处理零件时，实施了严格的静电防护，成品良率一定显著提高； 静电放电将产品变成半不良品（90%），使得产品在客户手中产生严重的可 靠性问题或”突然故障”的巨大灾难； 静电还会导致ESA、EMI。 静电防护不只是为了品质，不