IQC训练--ESD(基础).ppt

實際過程中,靜電一邊產生一邊衰減靜電的衰減符合指數規律 半導体的抗靜電能力 ESD破壞案例參考 橫 切 面 放 大 (2,000) 橫 切 面 放 大 (10,000) 靜電防護 晶片設計的靜電防護(治本方法) ◆ 對許多集成電路,厂家在器件的輸入/輸出口上多加了一些防靜電保護電路,使器件的防靜電能力大大提高 ◆ 為了減少保護電路占的面積,提高集成度,降低成本,各家有其獨有的技朮,對通用集成電路,有相應的國際或企業的防靜電標准. ◆ 防護電路是不能杜絕靜電損傷的 ◆ 錯誤的理念:因選用高損傷閥值器件,故ESD防護可以放松!! 靜電防護 晶片設計的靜電防護電路 輸入電路 靜電防護 晶片設計的靜電防護電路 輸出電路 靜電防護 全方位靜電放電防護電路的安排 靜電防護 靜電防護的基本原則(治標方法) ◆ 1. 避免靜電產生 a) 潮濕法 b) 抗靜電塗佈法 c) 內部靜電劑法 ◆ 2. 疏導或中和所產生之靜電 a) 疏導法(典型方法是配戴靜電環) b) 中和法 ◆ 3. 摒蔽靜電場 ESD訓練教材 E S D 目錄: 第一部分: ESD基本原理介紹 第二部分: 半導体的抗靜電能力 第三部分: 靜電防護 序言 序言 ◆ 在電子產品越來越細小,越來越復雜的今天,半導体 材料的品質要求也是越來越高的. 而靜電對半導体的 破坏卻因半導体的高集成化而變得更加容易. 為了產品的品質和提升客戶的滿意度,我們必須在 靜電的防護方面作出更有效的行動,來迖成我們的品 質目標. ESD 基本原理介紹 ESD 基本原理介紹 一 靜電放電(ESD)現象 ◆ 嚴寒的冬天,當您脫下暖和的毛衣,您會聽到嗶嗶啪啪聲 ◆ 握手或手接触時常被電擊一下,是由于人身帶了靜電, 接触時突然放電所致 ◆ 云層相互摩擦而帶大量的電荷,相互放電形成能量巨大 的雷電,對地放電則可能形成雷擊 這些就是靜電瞬間放電(ESD)所主導產生的現象 ESD-- Electro Static Discharge ESD 基本原理介紹 二. 靜電的本質 物質由分子和原子組成,原子由原子核和電子組成,原子核帶正電,電子帶負電. 自然條件下,正負電荷平衡,物体不帶電.這類物体叫電中性物体. 在某種條件下,正負電荷的平衡被打破,則物体帶電--這種現象叫物体帶電. 所謂靜電指對觀察者而言,電荷靜止不動或運動非常緩慢.動電則有電荷的快速運動和變化. ESD 基本原理介紹 三. 靜電起電 摩擦起電:當兩個物体產生摩擦時,摩擦表面的電子會從一种物体跑到另一種物体上,分离后,兩個物体的正負電荷失去平衡,得到電子的帶負電,失去電子的帶正電. 感應起電:當有強電場(大的帶電体)存在時,附近的物体被感應,局部或整体產生電荷,這類帶電稱為感應帶電. 靜電可有很多种方式產生,如物体間的摩擦,電場感應,介質极化,帶電顆粒粘附等等 ESD 基本原理介紹 四. 靜電放電 當帶電的物体与一些導体等接触時或靠的很近時,電荷會找到一途徑途突然釋放掉,這种現象叫靜電放電. 靜電放電的條件是:首先有靜電存在,其次要有一定的途徑. 靜電放電的原因和條件多种多樣,控制靜電放電是在人們生活和工作中的各個方面所追求的. ESD 基本原理介紹 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 靜電產生 1.分離 2.摩擦 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 分離,摩擦等起電的過程: ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 分離,摩擦等起電的過程 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 物質產生靜電大小排列如下表，其中愈正性與愈負性物質互相摩擦產生之靜電愈大 空氣石棉人手玻璃云母頭髮尼龍 羊毛毛皮鉛 絲綢鋁 紙 棉花 鋼 木材琥珀封蜡橡膠鎳銅黃銅 纖維聚酯奧璐珞聚氨酯聚乙烯聚丙烯硅 硅橡膠 ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 人体帶電研究 摩擦起電:操作中的動作和肢體運動,由衣服,鞋子與其他物体,地面摩擦,使衣服和鞋子帶電,再通過傳導和感應,使人体帶電. 感應起電:當不帶電的人体進入帶電的電場,靜電感應而起電. 傳導起電:人体直接接觸帶電体,或與帶電体髮生靜電放電,另人体在靜電的微塵粉体和霧狀液粒空間活動,使帶電微粒附在人体及衣服上產生靜電. ESD 基本原理介紹 五. 靜電產生原理 人体活動帶電示意圖 ESD 基本原理介紹 六. 靜電電壓 典型靜電電壓 我們在經受3000伏的靜電電壓!! ESD 基本原理介紹 六. 靜電電壓 人体電容靜電模型 ESD 基