第4章_电容式传感器1.ppt

主要内容： 4.1 电容式传感器的工作原理和结构类型 4.2 电容式传感器的输出特性 4.3 电容式传感器的等效电路及测量电路 4.4 电容传感器的应用 影响平板电容器电容值的因素 极板面积 极板间距离 介质的介电常数 被测物理量可以通过作用在这三个因素之上而使得电容值发生改变 位移——极板间距离 角度——极板面积 液面——介电常数 电容式传感器的基本工作原理 被测物理量通过适当的形式使得极板面积A、极板间距离d和介电常数ε中的某一项或多项发生变化，从而改变电容值C，电容值的变化最终要进一步体现为电路中的电压或电流的变化。 在实际使用中，通常保持其中两个参数不变，而只改变其中一个参数，把该参数的变化转换成电容量的变化，通过测量电路转换为电量输出。 电容式传感器可分为三种类型： 变极板间距离的变间隙型（变极距型） 改变极板面积的变面积型 改变介质介电常数的变介电常数型 4.2 电容式传感器的输出特性 4.2.1. 变间隙式电容传感器（变极距型） 当间隙d0减小?d时，则电容增加?C，即 电容的相对变化量?C/C0为 因为?d/d01，按级数展开得 当?d/d01，可略去非线性项，近似为 电容传感器的灵敏度为 考虑线性项与二次项 相对非线性误差为 非线性误差与 的大小有关， 仅适用于微小位移的测量。 非线性误差随极板距离d0的增加而减小，但是增加极板距离d0，灵敏度相应降低。 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 例：一变极距型平板电容传感器，d0=1mm，若要求测量非线性误差最大为0.1%。求允许极距最大变化量是多少？ 解：变极距型平板电容传感器非线性误差为： 允许极距最大变化量： 电容器的电容为 若相对介电常数增加Δεr时，电容相应增加 例：某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存罐也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的 。计算传感器的最小电容和最大电容以及当传感器用在该储存罐内时的灵敏度。 解：传感器的电容量与被测液位的高度成正比， 当h=0时，电容最小： 当h=H时，电容最大： 储存罐的容积为： 安徽工业大学 第4章 电容式传感器 什么是电容器？ 电容器由两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电导体构成。 电容 导体上的电荷 导体之间的电压差 什么是电容式传感器？ 电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量的变化转变为电容的变化。 极板间介质的介电常数 真空介电常数； 极板间介质的相对介电常数； 极板间距离； 极板面积； 式中： - e - e - e - - e e = e = 0 0 r r d A d A d A C d A ε 4.1 电容式传感器工作原理和类型 以平板电容器为例，忽略边缘效应时，平板电容器的电容为 电容式传感器的工作过程 被测量变化——电容变化——电压或电流变化 对被测量的认识过程 电压或电流的变化——电容变化——被测量变化 (1)变间隙型电容传感器 变间隙型电容传感器常用于测量微小的线位移 (2)变面积型传感器 变面积型电容传感器常用于测量角位移和较大的线位移 (3)变介质型传感器 变介电常数型电容传感器常用于固体或液体的物位测量以及各种介质的湿度、密度的测定 工作原理：极板2为定极板，固定不动，极板1为动极板，与被测体相连，当被测参数改变而引起动极板1移动时，就改变了极板间距离，从而改变极板间的电容。 极板面积为A，初始距离为d0，以空气为介质的电容器的电容值C0为 为提高灵敏度和减小非线性，一般采用差动式电容传感器。 变极距型电容传感器的输出特性曲线 e 0 e 0 d 1 d 2 C 1 C 2 A 平板电容器的差动式结构 采用差动式电容结构 单一电容的特性方程为： 电容总的变化为 电容相对变化为 略去高次项，则 差动电容式传感器的相对非线性误差近似为： 结论： 差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍; 非线性误差减小. 差动： 差动： 设置保护环消除边缘效应示意 保护环与极板1具有同一电位 4.2.2. 变面积型电容传感器 (1)平板直线位移式电容传感器： 初始电容 电容的变化量 b a d △x 电容改变量与水平位移成线性关系 当动极板移动Δx后，电容量为： 结论： 平板变面积型电容传感器灵敏度K为常数； 输出特性为线性；