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第6章 电容式传感器 一、 变极距型电容传感器 二、 变面积型电容式传感器 三、 变介质型电容式传感器 6.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 6.3 电容式传感器的等效电路 6.4 电容式传感器的测量电路 6.5 电容式传感器的应用 当被测信号为0时，ΔC =0, 则C =C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0， 式中: L——振荡回路的电感;  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+C0±ΔC。 其中, C1——振荡回路固有电容; C2——传感器引线分布电容; C0±ΔC——传感器的电容。 (6 - 28) 优点： 具有较高灵敏度，可以测至0.01 μm级位移变化量； 频率输出易于数字化和与计算机通讯； 抗干扰能力强； 可以发送、接收以实现遥测遥控。 缺点： 寄生电容对测量精度影响大。 措施： 采用专用驱动电缆、缩短传感器与测量电路间距离或二者一体化处理。 当被测信号不为 0 时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化，此时频率为： (6 - 29) 二、 运算放大器式电路 运算放大器式电路原理如下图 所示，放大倍数A0非常大，而且输入阻抗Zi很高。图中： Cx为电容式传感器， 是交流电源电压， 是输出信号电压，Σ是虚地点。 由运算放大器工作原理可得： (6 - 30) 若：Cx =εS/d，代入上式，有： 结 论： “－”号表示输出电压 的相位与电源电压反相。 运算放大器的输出电压与极板间距离d呈线性，但要求Zi及A0足够大。 电源电压 的幅值和固定电容C值要稳定。 (6 - 31) 三、 二极管双T型交流电桥 下图 所示是二极管双T型交流电桥电路原理图。 图中： e ——高频电源, 提供幅值为Ui 的对称方波； VD1、VD2——特性完全相同的两个二极管； R1 = R2 = R； C1、C2——传感器的两个差动电容； e ——高频电源, 提供幅值为Ui 的对称方波； VD1、VD2——特性完全相同的两个二极管； R1 = R2 = R； C1、C2——传感器的两个差动电容； 分析： 当传感器没有输入时，C1 = C2 。电路工作原理如下： 当e为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，电容C1充电。 在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I1 。 在负半周内，VD2导通、VD1截止，电容C2充电。 在随后出现正半周时，C2通过电阻R2，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2 。 根据给定条件，电流I1 =I2,，方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。 传感器输入不为 0，即C1 ≠ C2。 I1≠I2。此时RL上的输出在一个周期内的平均值为： 式中： f 为电源频率。 当RL已知，上式中［R（R+2RL）/（R+RL）2］RL = M（常数），则： Uo=Ei f M(C1－C2) (6 - 31) 结论： Uo=Ei f M(C1-C2) 若电源电压不变， 输出电压Uo是电容C1和C2的函数。 电路的灵敏度与电源幅值、频率有关, 故输入电源要求稳定。 电路输出电压较高。 当电源频率为 1.3MHz, 电源电压Ei= 46 V时, 电容从-7～+7pF变化，可以在 1MΩ负载上得到-5～+5 V的直流输出电压。 当Ei幅值较高时使二极管VD1、VD2工作在线性区域，非线性误差很小。 电路的输出阻抗与电容C1、C2无关，仅与R1、R2及RL有关。 输出信号的上升沿时间取决于负载电阻。对于1kΩ的负载电阻上升时间为 20 μs左右。可用来测量高速的机械运动。 四、 脉冲宽度调制电路 脉冲宽度调制电路如下图所示。 图中：C1、C2为差动式电容传感器，电阻R1=R2，A1、A2为比较器。 充电， 当Q＝1时， 当 时， ， ，信号反转。 经 放电。 当Q＝1时， 充电， 当 时， ，信号反转。 经 放电。 B 双 稳 态 触 发 器 A1 A2 C1 C2 R1 R2 Q Q- A F G D D- Vref D1 D2 脉冲宽度调制电路 电路各点波形如上图所示。 当C1 = C2时，其平均电压值为零。 当C1 ≠ C2，且C1 C2时，则τ1 = R1 C1τ2 = R2 C2 。 由于充放电时间常数变化，使电路中各点电压波形产生相应改变。 ? C1C2时 C1=C2时 T1 UF