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某PCB曝光房洁净室设计图示FFU.ppt
* xx5e 曝光房洁净室--相类设计(FFU)图示 外氣空調箱(MAU)+FFU+干盘管系統 xx5e 没有高架地板，实际运行仍较优 经5e实际运行，干盘管处还是会产能冷凝水，故还是湿盘管设计实用 FFU：即--风扇过滤单元。 非FFU：只有高效过滤器，无风扇 1) 此种设计，回风需经洁净空调箱过滤。 2) 用FFU 设计，回风仅通过高效过滤器。 洩漏氣 回風 外氣入 循環風車 前級濾網 初級濾網 中級濾網 冰水盤管 加濕器 加熱線圈 排氣風車 設備 空調箱 xx3e 曝光房洁净室--相类设计图示 *
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