超声波与激光清洗技术简介.pptVIP

超声波和激光清洗技术简 介 一、清洁表面的重要性 二、超声波清洗技术 1 超声波技术的原理 2 影响超声波清洗的因素 3 超声波技术的应用领域 三、激光清洗技术 1 激光技术原理 2 激光技术的影响因素 3 激光技术的应用 四、结束语 一、清洁固体表面的重要性 据统计，在半导体工业当中由于表面不清洁引起芯片失效已造成制造环节总损失的一半以上。在光学加工镀有高反膜的超光滑光学基片有亚微级得粒子时，将导致膜的质量下降，并且产生严重的光散射及损耗，而且有可能会降低激光损伤阈值。因此对获取清洁的固体表面对生产实际具有重要意义。 二、超声波清洗技术 超声波清洗技术的介绍： 被誉为现代清洗手段的超声波清洗是利用超声波在液体介质中的空化效应，对液体介质所到之处拖把体内外表面进行清洗，具有优质、省力、高效和无污染等显著特点，在西方发达工业国家已得到了广泛应用，取得了很大的经济效益。我国也开始逐步推广使用这种新技术。 超声波清洗和机械搅拌清洗效果的对比 2、超声波清洗原理 超声波发生器产生的高于20KHZ的超音频电能，通过换能器转换成同频率机械振动机械振动传入清洗液，超声波疏密相间地向前传导，产生无数的微小气泡，这些气泡是在超声波纵向传播的负压区形成及生长，而在正压区迅速破裂。这种微小气泡的形成、生长、迅速破裂过程称为“空化效应”。在空化效应中气泡破裂后产生超过10000个大气压的瞬时高压，连续不断 产生的瞬时高压就象一连串小爆炸不断地轰击物体表面，使物体表面污垢迅速脱落。 当液体介质中传入一定强度的超声波时，被清洗物体的表面反复出现加压和减压产生空化效应，液体内出现微小空洞，当声波达到一定强度时，空洞会发生剧烈爆炸，产生强烈碰撞，压力达.5-50吨/平方厘米，具有很大的能量，使水分以超过10000G的加速度撞击被清洗物体的表面，将污物撞击下来，从而达到显著的清洗效果，并且这种效果可随液体到达被清洗物体的所有表面 空穴形成的过程示意图 超声波清洗机结构示意图 超声波清洗技术的几个参数 1.超声波频率 ：超声波频率越低，在液体中产生空化越容易，作用也越强。频率高则超声波方向性强，适合于精细的物体清洗，一般频率大于20KHz. 2.功率密度：超声波的功率密度越高，空化效越强，速度越快，清洗效果越好。单对于精密的、表面光洁度甚高的物体，采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。 3.温度：一般来说，超声波在30oС~40oС时空化效果最好。清洗剂则温度越高，作用越显著。 超声波清洗应用领域 由于空化效应形成时会产生声波压力和热效应，故可对细菌， 特别是链状细菌进行打击，达到杀菌消毒的作用。此外，超声波具有强烈的乳化作用，并能起到均匀搅拌、研磨粉碎和加速化学反应的作用。 其主要应用列举如下： （1）机械零部件的清洗（特别是精密零部件）：轴承、油泵 。 ( 2）光学零部件的清洗：光学器件、光学纤维等。 （3）半导体芯片清洗 （4）印刷电路板的清洗 （5）贵重金属的清洗 影响超声波清洗的因素 影响超声波清洗的因素有很多，如温度，静压力，超声强度，被清洗物件的声学特性，因此在清洗过程中要选择最佳工艺参数以保证清洗效率和效果。 1·温度：温度升高有利于产生空穴，但由于温度升高导致蒸汽压升高，从而会引起空化强度降低，一般清洗温度选择在60~70度左右。 2：超声声度:声强高，空化强度越大，空穴数量增多，有利于清洗，但是过高的声强会使声源表面产生大量的非空化得气泡而形成屏障，削弱清洗作用。 3·被清洗物件的声学特性：吸声大的物体，如橡胶，它的清洗效果较差，而对声反射强的材料，比如，金属，玻璃制品清洗效果较好。 激光清洗技术 激光清洗是一种新型的激光表面处理技术,近 10年来迅速发展,已由实验室进入实际应用。人们 对激光清洗的机理进行了系统深入地研究,清洗工 艺日趋成熟,现在已有成套的激光清洗商品出售。 在许多应用中,激光清洗技术已成为不可替代的技 术。 激光清洗技术的优点 激光清洗与传统的化学清洗、机械刷磨、流体颗粒冲刷、超声清洗等相比,具有以下优点: (1)激光清洗属于干洗,不需碳—氟—氯化合物及其他有机溶剂,没有废液排放,不造成环境污染,清洗残渣很少。 (2)能有效清洗其他方法难以去除干净的吸附在物体表面的亚微米粒子。 (3)能对其他方法难以达到或危险的地方进行清洗,易于实现远距离遥控清洗。 (4)清洗效率较高,成本较低。 (5)可控性好、柔性高,易于实现选区定域、实时的精密清洗。 6)热影响区小,对于光剥离清洗则是打开材料的结合键,没有热作用发生对周边材料没有热