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立方氮化铝的制备与表征 摘 要： 氮化铝（AlN）材料具有高热导率、高熔点、低热膨胀系数和良好的化学稳定性等特性,其中立方相AlN比六方相AlN具有更低的声子散射和更高的热导率及声波速率等优异性能。本实验采用机械合金法（简称MA法），以微米六方AlN为原料制备立方AlN，通过设置球料比、球磨时间、转速等不同的球磨参数，在纯氩气气氛、氮气气氛、尿素、氟化铵等不同条件下进行球磨，对获得的球磨产物进行XRD分析，对比不同条件下立方相的转化率。最终确定合成立方AlN的最高转化率球磨条件为：用氟化铵（NH4F）作为固体氮源；球料比25:1；六方AlN与氮源NH4F的质量比2:1；球磨时间40h；球磨速率450r/min。此条件下转化率最高，可达到65.5%。 关键词 立方AlN；机械合金法；球磨；转化率 1 引 言 目前工业上生产AlN的方法主要有铝粉直接氮化法，化学气相沉积法，Al2O3碳热还原法，溶胶-凝胶法，自蔓延高温合成法，等离子化学合成法等。这些制备方法有一个共同点就是生产成本太高，目前还没有制备质优价廉氮化铝的方法。铝粉直接氮化法、Al2O3碳热还原法和化学气相沉积法由于设备简单，粉末质量较好，是目前制取AlN粉末的主要方法，已经在工业生产中得到大规模的应用；溶胶－凝胶法是一种从传统的AlN粉末制备方法衍生和发展起来的新型粉末制备方法，但目前对于实际生产的意义不大，还处于试验阶段；自蔓延高温合成法工艺简单，生产效率高，制得的粉末活性高，是一种有潜力的制粉方法，但其反应过程难以控制，反应机理不清，限制了其发展；等离子化学合成法制备的AlN粉末粒度细小、活性高、工艺性能好，但纯度较低，设备复杂，应用还受到一定限制。 工业上生产的AlN绝大部分为具有铅锌矿结构的化合物，属六方晶系。AlN除此结构外，还有一种亚稳态结构：立方AlN。这种结构比六方AlN具有更高的热导率(250－600) W/(m·K)，更高的电阻率（1018Ω﹒cm）。并且以亚稳态存在的立方AlN具有更高的硬度、弹性模量、耐磨性、抗氧化性以及高温稳定性等优良的综合力学性能。因此，如何降低合成立方AlN的生产成本，一直是材料领域的一大热点，立方AlN以其优良的性能获得推广应用是必然趋势。 2 实验过程 2.1 实验材料与设备 2.1.1 实验材料 0.5μm六方AlN，分析纯酒精，氮气，尿素，氟化铵，钢制球磨罐2个，钢勺，电子天平，玻璃板等。 2.1.2实验设备 （1）QM-3SP4行星球磨机 实验参数：最大球磨速率550r/min；每次球磨时间上限为999min； 球磨方式有多种，本次实验选用的是正反向交替运行，定时停机，多次球磨的方式。 （2）手套箱 手套箱的使用流程：充气→ 打开外盖→ 放入球磨罐→ 关闭外盖并抽真空→ 充入氩气→ 打开内盖→ 把球磨罐放入手套箱大腔体内→ 关闭内盖→ 充气后将球磨罐密封→ 打开内盖→ 把球磨罐放入小腔体→ 关闭内盖→ 打开内盖取出球磨罐→ 关闭内盖抽真空（抽部分即可）。 （3）D/max-rB旋转阳极X射线衍射仪(XRD)。 氮化铝的三强峰和大部分峰都在30o到80o之间，本次试验测量角度为30o－80o，测量速率为5o/min。 2.2 实验过程 本次实验为自主设计的探究性实验，分别在氩气气氛、氮气气氛、尿素、氟化铵等不同氮源进行了一系列探究，得到了较好的结果。 2.2.1 氩气气氛中球磨六方AlN 第一次实验设计了如表1所示的正交实验表，以探究不同转速，不同球磨时间，不同球料比对球磨转化率的影响。 具体操作流程为：用酒精清洗球磨罐和钢球→根据球料比在罐内放入对应质量的大小球→用天平称量对应质量的六方AlN放入球磨罐内→在手套箱内进行充气操作并密封好球磨罐再取出→设置需要的球磨参数进行球磨→球磨完毕，取出放置一天→取出粉料，装入密封袋中，防潮防漏。后面的几组实验基本上也是按照这个操作流程循环进行。 表1 正交实验L9(34)参数表 参数 分组 转速 (r/min) 球磨时间 (h) 球料比 (℃) A1 350 20 15:1 A2 350 30 20:1 A3 350 40 25:1 A4 400 20 20:1 A5 400 30 25:1 A6 400 40 15:1 A7 450 20 25:1 A8 450 30 15:1 A9 450 40 20:1 表2 球磨参数 球料比 大球数 小球数 粉末质量 15:1 118(236g) 337 32.75g 20:1 120(240g) 342 24.95g 25:1 121(242g) 346 20.15g 通过对正交实验结果转化率的计算对