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Do not copy or distribute. Copyright ? 2007Tianma Microelectronics 上海天马 * SHANGHAI TIANMA MICRO-ELECTRONICS CO., LTD. 上海天马微电子有限公司 LCD知识简介 Summary 一、基本概念 二、TN LCD显示原理 三、TFT结构以及工作原理 四、TFT制造流程简介 五、TFT生产线划分 1.1、 什么是LCD？ 什么是LCD？ LCD = Liquid Crystal Display 电子显示器 主动发光型显示器 非主动发光型显示器 CRT、LED、PDP LCD 主动发光显示器：利用信息来调制各像素的发光强度和颜色 非主动发光显示器：本身不发光，利用信息来调制外光源而达到显示目的 1.2、 LCD的特点----非主动发光显示 1.2、 LCD的特点----视角与响应时间 LCD存在视角问题，主动发光显示器则无视角问题。 响应时间（Response Time）：从输入信号到输出影像所经历的时间，液 晶显示器反应时间为毫秒级别。（标准电影格式每画面为40毫秒）STN的 响应时间为百毫秒级，TFT为十毫秒级。 视角（Viewing Angle）：在大角度观看的情况下，显示器亮暗对比变差会使画面失真，可接受的观测角度范围就称为视角。 较小的视角以及较长的响应时间被认为是LCD的缺点，但是目前已经获得了 很大的改进。目前，响应时间可达8ms, 视角接近180° 1.2、 LCD的特点----LCD的优点 LCD的优点： 1.低电压、微功耗； 电压?2~3V 工作电流?几微安 功耗?10exp(-6)~10exp(-5)W/cm*cm 2.平板结构； 尺寸可灵活改变；便于自动化大量生产；厚度薄，体积小. 3.被动显示型； 被动显示，不易引起视觉疲劳；外光越强，显示内容越清晰，无光冲刷. 4.显示信息量大； 5.易于彩色化； 采用Color Filter很容易实现彩色化. 6.长寿命； 工作电流小，液晶不会发生劣化. 7.无辐射，无污染. CRT--〉X射线辐射 PDP--〉高频电磁辐射 1.3、 LCD的结构 边框（Sealant） 玻璃（Glass） 偏光片（Polarizer） 衬垫料（Spacer） 银点（Short） 液晶（Liquid Crystal） ※ 1.对于彩色LCD，其中一片玻璃为彩色滤光膜 2.面底偏光片一般为不同偏光片 3.为了避免盒内短路发生，可能会印刷TOP层（STN） 1.4、 LCD分类 TN LCD （Twist Nematic） 相列相LCD STN LCD （Super Twist Nematic） 超扭曲向列相LCD TFT LCD （Thin Film Transistor） 薄膜晶体管LCD 1.早期LCD 2.可显示的信息量很少 3.难于彩色化 4.结构及显示原理简单 5.图表或简单点阵显示 6.制作工艺简单 1.可显示较多的信息 2.制作工艺基本上同TN 3.可实现彩色显示，点阵显示， 4.显示原理复杂 5.响应时间长，带有底色，视角小 6.显示信息量受限，难于制成大尺 寸显示器 7.良率控制困难 1.制作工艺复杂 2.显示效果好 3.电阵显示，显示信息量大， 可制成大尺寸彩色显示器 4.工艺复杂 5.较TN、STN耗电 ※其他显示模式略 2.1、 液晶 2.1、 液晶 2.2、定向层的作用 无定向层 有定向层 2.3、 TN模式显示原理 TFT的全称为Thin Film Transistor，即薄膜晶体管。 3.1、 何为TFT？ 3.2、 为什么使用TFT？ 思路一：减轻交叉效应的影响，从而可以提高驱动路数. 增加光电曲线陡度 增大液晶扭曲角 STN TN显示方式的主要缺点： 1. 笔断显示方式只适合进行简单的显示，显示信息量太少； 2. 使用点阵方式，由于光电曲线陡度不够，交叉效应 严重驱动路数小于16路，不适合进行精细图形的显示。 思路二：消除交叉效应的影响，从而可以提高驱动路数. 每个像素单独控制 TFT 获得了一定程度的改善 获得了很大程度的改善 4.1、流程概况 ※PVD：Gate Metal，Data Metal，ITO PECVD：Active Layer，Passivation Layer Wet Etch Dry Etch ※测量流程被忽略 4.2、 Array流程描述 4.2、 Array流程描述 4.2、 Array流程描述 ＊动画显示 4.3、 CF流程描述 摩擦后清洗 TFT清洗 配向膜涂布 固化