表面粗糙度的高精度非接触式测量.pdfVIP

字木交；赢 表面粕糙度的高精度非接触式测量 王真。郭天太，周义但，郑婧，陈欣，吴静天 (中国计量学院，杭州310018) 摘要：非接触式表面粗糙度测量以其高精度、无损伤、测量速度快等特点得到了广泛的应用。文中对光散射法、干涉 法、散斑法、衍射投影法以及超声检测法等表面粗糙度测奄方法的最新研究进展进行了总结介绍，论述了各测量方法的 优缺点及发展趋势。 关键词：表面粗糙度；非接触式测量：高精度 中图分类号：TN247；TP391文献标识码：A 文章编号：1002—2333《2009)04—0066—02 MethodsofNon-contactSurface Measuring Roughness WANG Zhen,GUOTian-tai，ZHOU Xin，WU Yi_si,ZHENGJing，CHEN Jing-tai