全金属气体微流量计波纹管变容室截面面积的测量.pdfVIP

中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十六届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第十一届年会 全金属气体微流量计波纹管变容室截面面积的测量 赵澜张涤新冯焱成永军孙雯君刘赐贤 (兰州空间技术物理研究所甘肃兰州730000) 摘要：为了研制全金属气体微流量计，设计了以波纹管为主体的全金属结构的变容室，并对波 纹管变容室截面面积进行了测量。采用了多项式拟合公式对波纹管截面面积进行了修正，避免波纹 管非线性的影响，结果表明修正偏差小于0．16％，截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0．53％， 可以满足使用要求。 关键词：全金属气体微流量波纹管变容室截面面积测量 1 引言 在真空计量领域中，气体微流量计主要用于气体微流量的测量。国内外很多国家的真空计量实 验室对气体微流量测量技术的研究方面已经取得了很大的发展，相继研制了几代气体微流量计。美 所(IMC,C)、中国兰州物理所(LIP)分别研制了几代恒压式气体微流量计。常用的恒压式流量计分 为滑动密封活塞式流量计、活塞式液压驱动波纹管结构流量计和全金属波纹管密封结构流量计等三 种结构，其核心的区别主要为交容室结构不同。滑动密封活塞式流量计的变容室结构主要采用了为 为了延伸气体微流量的测量下限，在参