二元位相型光瞳滤波器的容错性能分析.pdfVIP

第26卷第 2期 青 岛大 学 学报 (自然 科 学版 ) V01．26No．2 2013年 5月 JOURNALOFQINGDAOUNIVERSITY (NaturalScienceEdition) M av20 13 文童 编号 ：1006—1037(2013)02—0034一O6 doi：10．3969／j．issn．1006—1037．2013．05．08 二元位相型光瞳滤波器的容错性能分析 刘为森 ，朱化凤 ，叶春伟 ，王秀民 ，李代林 ，王 宁 ，云茂金 ，曲 淼。 (1．中国石油大学(华 东)理学院，青岛 266555； 2．青岛大学物理学院，青岛266071；3．潍坊 中学，潍坊 261041) 摘要：对分区位相型大焦深超分辨光瞳滤波器的容错性能进行了分析研究。给不 同区域以 不同的位相误差，对焦点区域的光强分布特性进行了分析研究 ，研究结果表 明，位相误差的 大小对横 向超分辨性能的影响 比对焦深的影响要小 的多。在 10 以内的误差对焦平面上 的光斑压缩 比和斯特尔 比的影响都非常小。3．7 的误差可以仍然维持较好的焦深扩展 ，但 当误差进一步增大，焦深扩展 的情况逐渐遭到破坏 ，不能再看作是 良好的焦深扩展 。 关键词 ：光瞳滤波器 ；误差 ；超分辨；焦深 中图分类号：O438 文献标志码 ：A 光学超分辨技术是在光学系统的入瞳或出瞳处放置一个光瞳滤波器 ，以实现聚焦光斑的超越经典衍射 极限技术 口。依据滤波器调制对象 的不同，超分辨光瞳滤波器一般可分为 ：振 幅型 ，位相型 。和复振 幅 型 ]光瞳滤波器；依据实现超分辨 的具体效果不同，又可 以分为 ：横 向超分辨 、轴 向超分辨 和三维超分 辨 光瞳滤波器 ；从结构上划分，又分为：分区型 引，连续型 。和连续分区型超分辨光瞳滤波器 ，分 区型根据 圆环数 目不同，又可以分为单 区型_1叩和多区型_l1。近年来 ，位相型超分辨光瞳滤波器以其可以减少能量损 失的条件下提高聚焦光斑的斯特尔比而备受青睐。之前，对利用滤波器实现超分辨的研究工作大部分都是 基于滤波器没有误差的情况下分析研究的。但实际上 ，绝大部分滤波器 由于各种原 因在实际制作过程 中都 会 引入了误差。误差 的大小不同，其对超分辨性能的影响也不同。本文以可用于实现超分辨 以及焦深扩展 的(相位差的分区位相型光瞳滤波器研究为例 ，分析研究了滤波器的相位延迟误差对超分辨性能的影响 。给 出了数值模拟结果 ，得到了可能允许的最大误差 。 1 基本理论 根据 Born[1和 McCutchen¨13]的理论 ，在单色光照明条件下 ，光学系统焦点附近的振幅归一化分布为 rl ：… 2 U(v，)一2喘lP(P)J。()exp(-- )pdp (1) 厶 式中，ID为归一化的半径，P(10)是系统的光瞳函数 ，J。( )为零 阶 Bessel函数。经典 的衍射极 限是在假设 P(p)一 1的条件下得到的。 一2arsina／a和U一2a-z(sina)／a分别对应接收面上的径向坐标r和轴 向坐标 ，sina为数值孔径 。 当 “一 0时，系统焦平面上的横 向复振幅表达式为 r1 U(，U一0)一2{IP(ID。)Jo(’)ID’dp (2) ’ 因此