φ500mm阵列透镜波前采样器的研制.pdfVIP

维普资讯 第 2O卷 第 6期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．2O，NO．6 2008年 6月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jun．，2008 文章编号 ： i001—4322(20O8)O6—0921一O4 500mm 阵列透镜波前采样器的研制 徐宏来， 彭 勇， 周文超， 田小强， 胡晓阳 (中国工程物理研究院应用电子学研究所，四川 绵阳621900) 摘 要 ： 设计加工 了一个 由484块单透镜组成 的大 口径阵列透镜 ，并设计 了一套光束波前采样及测量实 验系统。在实验过程中，合理匹配了阵列透镜波前采样器、CCD、成像屏和图像采集处理各系统参数，并讨论了 该系统的动态范围和采样精度。利用平行光标定了该系统，且测量了大口径波前的像差，测量值与理论值相吻 合。实验证明了阵列透镜波前采样器用