长度计量基础知识讲座12.pdfVIP

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2017-08-22 发布于河南
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长度计量基础知识讲座12.pdf

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(十二) 顾耀宗/上海市计量测试技术研究院第十二讲　平面度计量器具平面度是长度计量中的一个重要参数，也是机械准和副基准的不确定度为：对于φ150mm平面平晶和 U k U 零件形状误差的一个主要参数。平面度计量器具广泛 210mm长平晶 =0.01μm（ =3）；对于310mm长平晶 k 应用于光学、机械制造业。 = 0.02μm（ =3）。一、平面度计量基准和计量标准 2. 平面度计量标准器具 1. 平面度计量基准我国平面度计量标准计量器具名称、测量范围以目前我国平面度国家基准由平面等倾干涉仪、及测量不确定度 U或最大允许误差△见表1。 φ150mm基准平晶组、210mm基准长平晶组和310mm 3. 平面度工作计量器具基准长平晶组组成。为保证平面度量值的准确传递，平面度工作计量器具的名称、测量范围、最大允国家还设置与基准相同类型的平面度国家副基准。国许误差△值见表2。家基准与副基准之间需定期进行比对。平面度计量基表1 准确度等级计量标准名称测量范围测量不确定度U或最大允许误差△ U k 一等标准平晶（组） φ150mm = 0.01μm（ =3） U k 一等 L=210mm = 0.01μm（ =3）标准长平晶（组） U k L=310mm = 0.02μm（ =3） U k 二等标准平晶 φ150mm = 0.02μm（ =3） U k L=210mm