一种微透镜阵列制作方法.pdfVIP

第34卷 第6期 华 中 科技大学学报(自然科学版) V01．34No．6 2006年 Univ．ofSci．Tech．(NatureScienceEdition) 6月 J．Huazhong Jun． 2006 一种微透镜阵列制作方法 张鸿海 范细秋 胡晓峰 刘 胜 (华中科技大学机械科学与工程学院，湖北武汉430074) 摘要：提出一种采用热压印技术制作微透镜阵列的方法．将聚合物加热到其玻璃转化温度以上．利用预先制 备好的模板在适当的压力下压向聚合物样品，保持压力直到聚合物温度降到玻璃转化温度以下，将模板移去 后．模板上图形便转移到样品表面．根据热压印工艺要求，研制了一台热压印设备，并利用这台设备制作了单 元口径大小为40 pm，单元之间间距为60pm的256×256单元8位相台阶衍射微透镜阵列．制作的微透镜阵 列sEM图表明图形台阶清晰、各单元一致性好．光学性能测试表明制作的微透镜阵列聚焦的三维光强分布 集中．具有较高的峰值．从制作工艺可以看出，利用热压印的方法制作微透镜阵列工艺简单，对制作设备要求 不高．为实现低成本、高分辨率、大批量制造微透镜阵列等器件创造了条件． 关键词：微透镜阵列；热压印；聚甲基丙烯酸甲脂；衍射 中网分类号：TH741．8文献标识码：A 文章编号：167卜4512(2006)06一0077—03 A methodof microlens noVel fabricatingarrays Z^n押gHo行g^口iF口胛Xiqi比H“Xino／0行gLi“S^P理g methodof microlens hot wasintroduced．A with Abstract：A fabricating arraysby embossing stumper is intothesurfaceof foilandheatedtoa aboveits structures required pressed polymeric temperature transition undersuitable untilthe belowthe tran— glass temperature pressure temperaturedroped glass sition ofthe removalofthe andleftthestructuresofthe temperaturepolymer，followedby stumper inthe foil．Tomeetthe offabricationmicrolens hotem— stamperpolymeric requirements arraysby a toolwas which 256×256elementsdiffractivemic— bossing，aprototypedeveloped，by8一phase—level of was rolens withelementdimension fabricated．Theembossedmicrolens array 40肚m×60肚m