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金刚石半导体研究进展_熊礼威.pdf
金刚石半导体研究进展/ 熊礼威等 ·117 ·
金刚石半导体研究进展
1 ,2 1 ,2 2 2 2
熊礼威 ,汪建华 ,满卫东 ,刘长林 ,翁 俊
( 1 中国科学院等离子体物理研究所 , 合肥 23003 1 ;2 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 ,武汉 430073)
摘要 金刚石具有一系列优异的物理化学性能 ,特别是独特的电学和热学性能 ,使其在半导体领域具有极佳
的应用前景 。通过详细评述金刚石的各种性能 , 以及与其他半导体材料的性能比较 ,提出了金刚石在半导体器件应
用领域的优势 。详细介绍了金刚石半导体掺杂以及金刚石半导体器件的种类和应用 ,并在此基础上展望了金刚石在
半导体领域的应用 。
关键词 金刚石 半导体 掺杂
Progress in Dia mond Semiconductor
XION G Liwei1 ,2 , WAN G J ianhua1 ,2 , MAN Weidong2 , L IU Changlin2 , W EN G J un2
( 1 In stit ut e of Pla sma Phy sics , Chinese Academy of Sciences , Hefei 23003 1 ;2 Key L aboratory of Plasma Chemi st ry
and Advanced Mat erial s of Hubei Province , Wuhan In stit ut e of Technology , Wuhan 430073)
Abstract Diamond i s a p erfect mat erial wit h t remendou s pot ential in t he semiconductor field due to it s ext reme
p hysical and chemical p rop erties , esp ecially it s unique elect ronic and t hermal p rop erties. The advant ages of diamond
are shown by reviewing t he p rop erties of diamond and comp aring it wit h ot her semiconductor s. The doping of dia
mond , t he classification of diamond semiconductor device and t heir app lication s are int roduced in det ail . And finally ,
t he app lication pot ential s of diamond semiconductor are p ro sp ect ed based on t he di scu ssion .
Key words diamond , semiconductor , doping
金刚石是一种宽禁带半导体材料 , 既能作为有源器件材 (3 . 2eV) 和 GaN ( 3 . 44eV ) 具有很好的优势 , 因此 ,金刚石作
(
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