Cr过渡层沉积粘附型CVD金刚石膜的机理研.pdfVIP

维普资讯 Cr含量对掺铬类石墨镀层摩擦学性能的影响 严少平 ，蒋百灵。，段 冰。 (1．西安理工大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710048；2．安徽理工大学 数理系，安徽 淮南 232001) 摘要：采用4靶非平衡磁控溅射离子镀技术，在高速钢和硅基体上制备出不同Cr含量的掺铬类石墨镀层，研究 了类石墨镀层的显微硬度、摩擦系数和比磨损率，分析了Cr含量对镀层的表面、断面形貌及微观结构的影响。结 果表明，随cr含量的增加，类石墨镀层硬度逐渐降低；摩擦系数和比磨损率先降后升；镀层由非晶逐步变成有择 优生长趋势的纳米晶与非晶混合多层结构。当cr含量在2wt％一lOwt％时，镀层表面光滑而结构致密，镀层 C、 Cr成分均匀分布，硬度为 19．8—21．4GPa，最小的摩擦系数为0．045和最低比磨损率 1．32×10 m ／N ·m，具 有 良好的减摩耐磨性能。 关键词：类石墨镀层；摩擦学性能；非平衡磁控溅射；结构 中图分类号：THll7．3；TG156．99 文献标识码 ：A 文章编号：0254-6051(2008)05-0048-05 Influenceofchrom ium contentonthetribologicalpropertiesof graphite-likecarbon coatingsdopedwithchromium YANShao—ping ，JIANG Bai—ling，DUAN Bing (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，XianUniversityofTechnology，XianShaanxi710048，China； 2．DepartmentofMathematicsandPhysics，AnhuiUniversityofSciencenadTechnoloyg，Huainna Anhui232001，China) Abstract：Graphite—likecarbon(GLC)coatingsdopedwithdifferentchromiumcontentswerepreparedbyfourtargetsun— balancedmagnetronsputterionplatingtechniqueonsinglecrystalsiliconnadhighspeedsteel(HSS)substrate．Themi— cro—hardness，frictioncoefficientandspecificwearrateofthecoatingswerestudied，and theinfluenceofchromium con— tentonthesurface，sectionmorpholoyg andmicrostructuresofthecoatingswereanalyzed．Th eresultsshow thatwiththe increasingofchromium contentthemicro—hardnessofthecoatingsdecreasesgradually，frictioncoefficientandthespecific wearratedecreasefirstand then increase，and the coatinglayers transform from non—crystallinetomixedmulti—layer structureofnanoerystallineandnon—crystalline．While thecontentofchromium isin therangeof2wt％ to 10wt％ ， smoothna dcompactGLCaredepositedwithwelldistribution ofC andCr．themicro—hradnessisbetween 19．8—21．4 GPa，minimumsfrictioncoefficient0．40 5，minimumsspecificwera rate1．32 ×10一 m ／N ·m，andthecoatingspossess wellfricti