多孔硅光致发光热稳定性研究.pdfVIP

第18卷 第3期 湖 南 城 市 学 院 学 报 (自然科学版) 、，o1．18No．3 2009年9月 JournalofHunanCity University (NaturalScience) Sept．2009 多孑L硅光致发光热稳定性研究 万小军 ，史 华 ，刘小兵 (1．湖南城市学院 计算机科学系，湖南 益阳 413000；2．长沙理工大学 物理与电子科学学院，长沙 410074) 摘 要：运用微拉曼谱仪 以不同功率的激光入射到用阳极脉冲腐蚀制备的多孔硅样品研究多孔硅的热稳 定性．用斯托克斯与反斯托克斯散射强度的比率确定样品的温度．观察比较不同温度下多孔硅样品的拉曼谱 趋向．发现在激光功率与样品温度之间的关系曲线上分为3个过程，与拉曼频移和拉曼强度的曲线相一致．所 有现象都可以用si—O健和非晶Si被光氧化的机制解释． 关键词 ：多孔硅 ；热稳定性 ；微拉曼谱 中图分类号：0472．7 文献标识码：A 文章编号：1672—7304(2009)03-0042--05 TheStudyofThermalStabilityofPorousSilicon WANXiaoT／un1．SHIHua，LIUXino—bingz (1．DepartmentofComputerScience，HunanCityUniversity,YjyaIlg，Hunan413000；2．DepartmentofPhysicsandElectronicScience， CkangshaUniversiytofScienceandTechnology,Changsha，Hunan410074，China) Abstract：Thethermalstabilityofporoussilicon(PS)fabricatedbypulsedanodicetchingmethodwas investigatedbymicro—Ramanspectrawithdifferentincidentlaserpowers．TheratioofStokesandAnti-Stokes scatteringintensitieswereusedtodeterminethesampletemperature．TheRamanSpectraofPSindifferent temperaturearecompared．Thetrendofspectraisobserved．Thecurveoftherelationshipbetweenlaserpower andsamoletem．peratureiSshowedasthreeprocesses．ItiSconsistentwiththecurveofRaman shiftand Raman intensity．AllthephenomenawereexplainedbytheappearanceofSi—O bondandamorphousSi becauseofthephoto．OX—ideeffects． Keywords：Poroussilicon；thermalstability；micro-ramanspectra 多孔硅是一种多孔的纳米硅材料，其备受科 传感器和热电子的绝缘体成为可能f7。oj． 学界重视的原因是因为它具有不同于单晶硅的光 拉曼谱的分散性已广泛应用于多孔硅的研究 [11-12] 学特性：即在被光或电激励时能在室温下发射强 ． 它对晶体结构的波动性和确定微粒的空间 可见光 l【】．多孔硅室温下高效率的可见光发射有 分布具有相当高的灵敏度，在晶体对称性和尺寸 可能使硅成为光子电子领域重要发光材料2【J．随 效应方面提供了有用的信息．微晶尺寸与形状的 着研究的深入，人们认识到，若能实现有效的硅 微拉曼