机电测试技术 教学课件 作者 赵树忠电子教案 第14课.docVIP

第 14 课 ■ 授课内容 第7章 典型工程参数的测试 7.2 机械振动的测试 7.2.1 概述 7.2.2 常用位移传感器 7.2.3 位移测试实例 7.3 流体参量的测试 7.3.1 压力的测试 7.3.2 流量的测试 ■ 课 时 数 2课时 ■ 重点难点 重点：无 难点：无 ■ 授课方式 新课 ■ 所用教具 无 第7章 典型工程参数的测试 7.2 位移的测试 7.2.1 概述 位移是线位移和角位移的统称，位移的测试实际上就是长度和角度的测试。从广义上来说，位移包括了长度、厚度、高度、距离、物位、相对位置、表面粗糙度、角度等参数。 位移测试在工程上应用很广。工程上不仅经常需要精确地测定尺寸、形状和位置、运动物体的位移，而且力、压力、扭矩、速度、加速度、温度等参数的测试往往也要转换成位移的测试。 常用的位移测试传感器的主要有电感式（包括涡流式）传感器、电容式传感器、光栅式传感器、感应同步器、激光式传感器等。 7.2.2 常用位移传感器 1. 电阻应变式位移传感器 图7-19电阻应变式位移传感器 1—悬臂梁 2—应变片 3—壳体 4—拉簧 5—测杆 一般用于小位移（0.1μm~0.1mm）的测量，测量精度优于2%，线性度为0.1%~0.5%。 2. 电感式位移传感器 常用型式：差动螺管式自感传感器、差动变压器式互感传感器、涡流式传感器。 图7-20 差动变压器式位移传感器 1—测头 2—轴套 3—测杆 4—衔铁 5—线圈架 6—屏蔽筒 7—圆片弹簧 8—弹簧 9—导线 10—防尘罩 图7-21 差动螺管式电感传感器及其构成的电感测微仪 a) 传感器 b)测微仪 1—引线 2—线圈 3—衔铁 4—测力弹簧 5—测杆 6—测头 由差动螺管式自感传感器、差动变压器式互感传感器组成的电感测微仪是目前应用较多的一种微小位移测量仪，其测量范围一般为几毫米，分辨率和测量精度可达0.1μm~0.01μm左右，非线性误差一般优于0.5%。 由涡流传感器组成的涡流测微/测振仪属于非接触测量仪器，动态特性好，常用于位移及振动的测试，分辨率和测量精度可达1μm甚至更高。 3. 电容式位移传感器 由电容式传感器组成的电容测微仪属于非接触位移测量仪器，其动态特性好，精度极高，可以实现纳米级精度的测量。 图7-22 变面积式电容传感器的结构 图7-23 平面变间隙式电容传感器结构 1—测杆 2—片簧 3—固定电极 4—活动电极 1—固定电极 2—活动电极 3—壳体 4—保护环 5—绝缘层 目前，由变间隙电容传感器组成的精密电容测微仪的分辨率最高可达到0.1nm，精度最高可达1nm，线性优于0.5%。通过智能化非线性误差修正，可使线性优于0.1%。 7.2.3 位移测试实例 1. 自动尺寸分选系统 图7-24 轴承滚柱自动分选系统 1—气缸 2—活塞 3—推杆 4—被测滚柱 5——落料管 6—电感传感器 7—钨钢测头 8—限位挡板 9—电磁挡板 10—料斗 2. 仿形测量 图7-25 电感式仿形铣床 1—标准靠模样板 2—测头（靠模轮） 3—电感测微仪 4—龙门框架 5—立柱 6—伺服电机 7—铣刀 8—毛坯 3. 物位测量 图7-27 电容式液位计 图7-28 沉筒式液位计 1—内电极 2—外电极 3—绝缘层 1—沉筒固定段 1’—沉筒浮力段 2—测量弹簧 3—差动变压器 4—衔铁 5—密封隔离管 6—壳体 4. 轴承外圈直径测量 图7-26 三点法测量轴承外圈外径尺寸 7.3 流体参量的测试 7.3.1 压力的测量 压力有绝对压力和相对压力（表压力）两种表示方法，相应的压力传感器也有绝对压力传感器、相对压力传感器、差压传感器等。 1. 弹性压力敏感元件 图7-29 弹性压力敏感元件 a) 波登管 b) 膜片 c) 波纹管 图7-30 普通压力表的结构 1—C型波纹管 2—扇形齿轮 3—拉杆 4—调节螺钉 5—接头 6—表盘 7—游丝 8—中心齿轮 9—指针 2. 应变式压力传感器 图7-31 应变式压力传感器 1—补偿片 2—工作片 3—弹性圆筒 4—感压膜片 这种传感器的响应速度很高，固有频率可达35kHz，可用于压力的动态测量。