传感器及其信号调理技术 教学课件 作者 徐湘元 第3章（1）.pptVIP

* 第3章 电感式与压电式传感器 【内容提示】粗略地说，电感式传感器是一种机—电转换装置，可用来测量力、力矩、压力、位移、速度、流量、振动等物理量，特别是在自动控制设备中，有着广泛的应用；压电式传感器是一种典型的发电型传感器，其工作原理以电介质的压电效应为基础，实现力到电荷的转变，它具有体积小、质量轻、结构简单、工作可靠等特点，适合于测量动态力学的物理量，不大适合测量频率太低的变量，以及静态量。 3.1 电感式传感器 电感式传感器（inductance type transducer）是利用电磁感应原理，将被测非电量，如位移、压力、振动、流量等，转换为线圈自感系数 (coefficient of self-inductance) L或互感系数（coefficient of mutual inductance）M 的变化，然后经测量电路转换为相应的电压或电流输出，实现非电量到电量的变化。 电感式传感器与其它传感器相比，具有结构简单、工作可靠、测量精度高、零点漂移少、线性度好、输出功率较大等优点，其主要缺点是灵敏度、线性度和测量范围相互制约，传感器自身频率较低，不适用于快速动态测量。 电感式传感器的种类很多，根据转换方式的不同，可以分为自感（self-inductance）型和互感（mutual inductance）型两大类；根据结构的不同可以分为变磁阻型、变压器型（互感型）和涡流型三种。 3.1.1 自感式传感器及其应用 自感式传感器是利用自感量随气隙变化而改变的原理制成的，主要用来测量位移。自感式传感器按照结构可分为气隙式和螺管式两种。 1. 气隙式自感传感器 气隙式传感器的结构原理如图3-1所示，它由线圈、铁心和衔铁三部分组成。铁心和衔铁由导磁材料（如硅钢片或坡莫合金）制成，在铁心和衔铁之间保持一定的空气隙，其厚度为 ，被测位移构件与衔铁相连。当被测构件产生位移时，衔铁随之移动，空气 隙厚度 发生变化，引起磁路中磁阻 变化，从而导致电感线圈的电感值发生变化。 当线圈通以激磁电流时，产生磁通 ，其大小与电流成正比，即 (3-1) 式中，N 为线圈匝数；L为自感。 由是（3-1）可获得线圈中的电感量为： (3-2) 1—线圈 2—铁心 3—衔铁 图3-1 气隙式传感器的结构 式中， 为磁动势， 为磁路总磁阻。 对于变隙式传感器，因为气隙很小，所以可以认为气隙中的磁场是均匀的。若忽略磁路磁损，则磁路总磁阻为 (3-3) 式中， 为铁心材料的导磁率； 为衔铁材料的导磁率； 为磁通通过铁心的长度； 为磁通通过衔铁的长度； 为铁心的截面积； 为衔铁的截面积； 为空气的导磁率； 为气隙的截面积； 为气隙的厚度。 通常气隙磁阻远大于铁心和衔铁的磁阻，即 (3-4) 则式（3-3）式可以近似为 (3-5) 联立式 (3-2) 和 (3-5) ，可得 (3-6) 上式表明，当线圈匝数为常数时，电感 L仅仅是磁路中磁阻 的函数，改变 或 S 均可导致电感变化。因此，气隙式传感器又分为变气隙厚度 的变间隙式传感器和变气隙 面积 S的变面积式传感器。因为变化的都是磁阻，所以气隙式传感器又称为变磁阻式传感 器。目前使用最广泛的是变气隙厚度的变间隙式电感传感器。 以变间隙式传感器为例。改变衔铁与铁心的间隙厚度，变磁阻式传感器输出特性曲线如图3-2所示。设电感传感器初始气隙为 ，初始电感量为 ，代入（3-6）式并整理， 则初始电感量为 (3-7) 对于变间隙式传感器，当衔铁上移 时，传感器气隙减小 ，即 ，此时输出 电感为 ，则 (3-8) 图3-2 变磁阻式传感器输出特性曲线 电感相对增量为 (3-9) 当 时， (3-10) 其灵敏度为 (3-11) 由此可见，变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，所以变间隙式电感传感器用于测量微小位移时是比较精确的。 2. 螺线管式自感传感器 螺线管式自感传感器常采用差动式，如图 3-3 所示，它是在螺线管中插入