传感器技术 教学课件 作者 陈建元 第二章 阻抗式结构性传感器2.pptVIP

传感器 阻抗式结构型传感器技术 1 阻抗式结构型传感器的敏感元件 2 电阻应变式传感器 3 电容式传感器 4 电感式传感器 5 调理电路 6 微机械传感器 7 阻抗式结构型传感器应用与设计示例 阻抗式结构型传感器的敏感元件 1.1弹性敏感原件的主要性能： 1.弹性特性 （式中：F表示施加于敏感元件的力或力矩，ε为变形量或位移） 2.灵敏度和刚度 敏感元件的刚度是灵敏度的倒数。 3.谐振频率 注：敏感元件的谐振频率可由计算获得，但必须由实验校正。 4.弹性滞后和后效 5.安全系数 注：安全系数越大，敏感元件的过载能力越强，但可能体积越 大，越笨重。一般以1.5～5为宜。 6.其他 1.2　常用弹性元件的结构和性能 1.基本拉压： 材料受力变形的最基本形式是拉压变形，由下式计算： 等截面杆件、等壁厚圆筒可视为基本拉伸结构。设计时应满足： 2.弹性梁： ①悬臂梁：变形以弯曲为主的结构称为弹性梁 只有一端支承的梁称为悬臂梁结构， 如图所示。 ②等强度梁：由上式可以看出，等截面梁测试点的应力和应变均与位置Lo有关，使用时不够方便， 为此可以设计等强度梁，如上图所示，使得： 电阻应变式传感器 电阻应变式传感器的工作原理基于四个基本的转换环节：力(F) → 应变(ε) → 电阻变化(?R) → 电压输出(?V)。 2.2 电阻应变计的主要特性： 电容式传感器 3．1电容式传感器的原理与结构 3.2应用中存在的问题及其改进措施 电感式传感器 4.1电感式传感器原理 4.2 自感式传感器的原理与结构 4.3 互感式传感器（差动变压器）的原理和结构 4.4 自感式和互感式传感器的误差 4.5电涡流式传感器 调理电路 5.1 电桥式测量电路（直流与交流电桥） 1．电桥的分类 测量电路，通常由应变测量电桥作为前端电路。 典型的电桥如图2-48所示 : 四个臂Z1、Z2、Z3、Z4按顺钟 向为序AC为电源端，BD为输出 端。AB、BC、CD及DA都称为 电桥的一个臂。当一个臂、二个 臂乃至四个臂接入传感器时，就 相应谓之单臂工作、双臂工作 和全臂工作电桥。 测量电桥按如下方法分类 : （1）按电源分，有直流电桥和交流电桥。 （2）按工作方式分，有平衡桥式电路（零位测量法）和不平衡桥式电路（偏差测量法）。 （3）按桥臂关系分，有：①对输出端对称；②对电源端对称；③半等臂和全等臂电桥。 （4）接负载的不同要求：输出电压或电流，电桥还可分电压输出桥和功率输出桥。 3．电桥的非线性误差及其补偿 4.信号调理电路 5．交流电桥 2)电容传感器测量电桥 3）电感传感器测量电桥 源端对称电桥 4)电容式和电感式传感器的辨向电路 5．2 阻抗式传感器的差动结构 1．电阻应变式传感器的差动结构 2．电容式传感器的差动结构 3．差动式自感传感器 5.3 电流电压积分差动电路 2．双T二极管交流电桥 3 脉冲调宽电路 5．4 直接放大 2.专用集成电路 3.频率式测量电路： 微机械传感器 6．1 微机电系统的分类和特点 微机械系统有以下特点： 微机械中起主导作用的力是表面力。 材料不同。 能源供给。 微机械传感器的信号获取、传输都与传统传感器不同。 制品的性能不同。 微机电系统的设计理论和制造方法与普通传感器不同。 微机械传感器的应用领域更为广泛。 6．2微机械传感器的制造技术 基本工艺有：生长、掺杂、腐蚀、刻蚀、淀积、牺牲层、键合、制膜。 其中光刻、腐蚀、键合、制膜是最基本的方法。 1.光刻（LIGA）技术：光刻的原理是光只对掩膜版上的透明区起作用，掩膜版下面是一层光敏，受光照后可以显影，被光照的区域在显影过程中被溶解，原来被掩盖的就暴露出来，以便进一步的工艺处理。 2.键合技术：可分为阳极键合和熔融键合，阳极键合的原理是在一定温度（键合温度）、电流作用下，在两个零件的接触面发生化学反应，形成牢固的固相键合，接合强度相当于接合件原材料本身的强度。熔融键合的方法是将需接合的元件的加热到一定温度，使接合表面处于熔融状态，分子力将导致元件的接合。 3.腐蚀：腐