用标度理论和蒙特卡洛方法研究微晶硅薄膜的生长机制.pdfVIP

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  • 2017-08-21 发布于江苏
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用标度理论和蒙特卡洛方法研究微晶硅薄膜的生长机制.pdf

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第 卷 第 期 半 导 体 学 报 29 8 犞狅犾.29 犖狅.8             年 月 , 2008 8 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犃狌.2008 犵 犌狉狅狑狋犺犕犲犮犺犪狀犻狊犿狅犳犕犻犮狉狅犮狉狊狋犪犾犾犻狀犲犛犻犾犻犮狅狀犉犻犾犿狊犫 犛犮犪犾犻狀

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