双面研磨机结构分析与盘面修整工艺的研究.pdfVIP

应用与试验摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 2014年第5期 (第27卷,总第133期) ·机械研究与应用 · 双面研磨机结构分析与盘面修整工艺的研究* 陈志嵩,朱海剑 (常州贝斯塔德机械股份有限公司,江苏 常州摇 213013) 摘摇 要:介绍了蓝宝石衬底片双面研磨机的加工原理以及其行星传动结构,并对这种结构做了相应的数学分析。 而 且对磨盘盘面的修正原理做了简单的介绍。 并给出了四种不同盘面形状的修正参数。 关键词:双面磨抛机;行星传动;结构;工艺;16B 中图分类号:TH122摇 摇 摇 摇 摇 摇 文献标志码:A摇 摇 摇 摇 摇 摇 文章编号:1007-4414(2014)05-0112-02 Structural Analysis of Double-sided Grinding Machine and Research of the Grinding Disc Amendment Craft CHEN Zhi-song ,ZHU Hai-jian (BE-STAR Machinery Co. ,Ltd,ChangzhouJangshu摇 213013,China) Abstract:In this paper,the machining principles of double-sided grinding machine for sapphire substrate and its planetary transmission structure are introduced,and the corresponding mathematical analysis for such structure is then made. Mean鄄 while,thetheoryof grindingdiscamendmentisbriefly introduced,andfinally,amendmentparametersforfourkindsof differ鄄 ent grinding disc shape are given. Key words:double-sided grinding machine;planetary transmission;structure;craft;16B 1摇 蓝宝石衬底片精密加工中存在的问题 蓝宝石具有硬度高、熔点高、透光性好、电绝缘性 优良、化学性能稳定等特点,广泛应用于机械、光学、 信息等高技术领域。 目前国内在批量生产蓝宝石衬 底片工艺过程中,破裂及崩边比例较高,约占总数的 6%左右。 研磨及抛光后,蓝宝石衬底片表面微划痕 较多,有20%左右的衬底片表面因未能完全去除加 工损伤层,需要重新研磨抛光,致使有部分衬底片厚 [1] 度偏薄报废 。 2摇 蓝宝石衬底片双面磨抛机结构 2.1摇 双面研磨加工原理 图1摇 双面研磨加工原理图 双面研磨加工原理如图1所示,上磨盘以一定的 压力往下加压,压力恒定,为了保证加工质量,压力差 摇 摇 采用两个平行平面同时进行研磨加工其特点主 一般保持在正负 1 kg 以内,上下磨盘之间放置游星 要有:淤效率要比分别研磨加工两个平面高很多;于 轮,以BDL-16B机型为例,可放置5个游星轮,游星 去除由切片过程中引起的切痕和凹凸不平;盂能够得 轮内部嵌放着蓝宝石片,以2 英寸蓝宝石片为例,如 到较好的平行度;榆改善表面平整度。 为了达到较高 图1所示每个游星轮可放置24 片,一张磨盘便个放 的加工质量,如2英寸的蓝宝石片其TTV(total think鄄 置120 片2 英寸的蓝宝石片。游星轮与内齿圈和太 ness varation总厚度变化)要求在3 滋m 以内,这就对 阳轮啮合,经过太阳轮、与内齿