等离子体的三频点微波透射衰减诊断方法.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! *++, 年$ 月 -./- 01234 56734 6)8 0649.:53 ;367 6=( ，*++,! 文章编号：! ++?$@**（*++, ）+$?+A*?+$ 等离子体的三频点微波透射衰减诊断方法! 王甲寅，! 时家明，! 袁忠才，! 许! 波 （电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室，合肥*@++@, ） ! ! 摘! 要：! 依据微波在等离子体中的传播特性，并利用微波透射非磁化等离子体时在三个相邻频率点的透 射能量衰减值，可同时诊断等离子体中的电子密度和电子碰撞频率。使用该方法对 ++ B ,++ 0C 范围内氦气 辉光放电等离子体进行了诊断，选择A( * ，A( D 和, ( $ /-E 三个频率点，并与使用双探针诊断的诊断结果进行比 较。结果表明：两种诊断方法所得碰撞频率基本一致；微波透射衰减法诊断出的电子密度值与探针法的诊断结 果在同一数量级（ A G @ + F ），但前者约是后者的( A, 倍。最后对造成这一差异的原因进行了分析。三频点微 波透射衰减诊断方法可用于较高气压及其它静电探针使用受限的环境下，并且可以采用能量较小的微波，不会 对等离子体本身造成显著影响，适用于等离子体的初步诊断。 ! ! 关键词：! 等离子体；! 微波；! 透射衰减；! 诊断；! 电子密度；! 碰撞频率 ! ! 中图分类号：! 1H@A ；95AH*! ! ! ! 文献标识码：! 6 ! ! 等离子体诊断是获取等离子体内部参数、进行等离子体性质研究的基础。通常采用的诊断方法有静电探 ［?@ ］ 针法、光谱学法、微波法和激光法等 ，其中静电探针法和微波法使用仪器相对简单、测量及分析过程简便。 静电探针法可以同时测得等离子体中的电子密度和温度，且具有一定的空间分辨能力。但是该方法不能直接 诊断出等离子体中的电子碰撞频率，而必须借助其它方法间接得到。微波等离子体诊断方法可以较好地诊断 出等离子体密度，且其诊断结果与使用探针法所得结果非常接近［$ ］。现有的微波诊断方法主要利用微波与等 离子体相互作用所形成的干涉和相移特性来诊断等离子体中的电子密度，较少涉及电子碰撞频率的诊断，仅有 的对电子碰撞频率的诊断方法也较为复杂［* ，H?, ］。 ! ! 本文分析了三频点微波透射衰减等离子体诊断方法的原理，并利用微波透射等离子体时在三个相邻频率 点上的能量衰减值，同时诊断了等离子体中电子密度和电子碰撞频率。 ! 三频点微波透射衰减等离子体诊断法的原理 ! ! 平面电磁波在等离子体中的传播因子可以表示为IJ （! G ! # ），其中 为电磁波角频率， 为电磁波的传播距 ! 离，! 为等离子体中电磁波的传播常数。一般情况下! K $!+ ，$ 为等离子体的复折射率，!+ K !% 为真空中的波 数， ［* ］ 为真空中的光速。根据阿普顿方程 ，$ 可以表示为 $ ’ （ ） ! 式中： 为等离子体的相对介电常数，且 *