衍射光学元件分析和设计中标量理论的局限性.pdfVIP

第31卷第6期 光电工程 Vol.31,No.6 2004年6月 Opto-Electronic Engineering Tnne2004 文章编号 1003-501X (2004)06-0009-05 衍射光学元件分析和设计中标量理论的局限性 陈德伟，李永平 (中国科学技术大学物理系，安徽合肥230026) 摘要:以衍射光栅为例，用标量理论和严格藕合波理论的对比，分析衍射光学元件各参数对标童 理论适用范围的影响.结果表明在光栅周期减小，刻蚀深度增加，光栅折射率增加，光束入射角度增 加以及填充因子偏离50%等情况下，标量理论的误差将逐渐增大，其中光栅周期和刻怕深度对标 量理论的影响较大，光栅周期小到5倍波长或者刻Ink深度大到5倍波长时，标童理论将不再适用. 关键词:衍射光学元件;标量理论;衍射